"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Эффект нестационарности при выращивании тонких пленок из жидкой фазы
Сакало Т.В.1, Кукушкин С.А.1
1Харьковский институт инженеров транспорта С.-Петербургский институт проблем машиноведения
Поступила в редакцию: 13 октября 1992 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1993 г.

Исследованы условия, при которых возможно выращивание супертонких полупроводниковых слоев из жидкой фазы. Раскрыта еще одно важная особенность предложенного для этого ранее метода релаксационной жидкостной эпитаксии с инверсией массопереноса. Показано, что необходимым условием получения достаточно тонких слоев является нестационарный характер процесса зарождения на подложке вплоть до момента полной релаксации пересыщения в жидкой фазе и, следовательно, завершения формирования тонкой пленки. Проведено сопоставление известных экспериментальных данных и теоретических результатов авторов, демонстрирующее их хорошее соответствие.
  • Бессолов В.Н., Кукушкин С.А., Лебедев М.В., Царенков Б.В. ЖТФ. 1988. Т. 58. Вып. 8. С. 1507--1512
  • Сакало Т.В., Кукушкин С.А. ЖТФ. 1990. Т. 60. Вып. 7. С. 78--83
  • Лебедев М.В. Канд. дис. Л., 1989. 120 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.