Использование явления кинетической ионно-электронной эмиссии для анализа легирования полупроводников
Бахадырханов М.К.1, Миркамилова М.С.1, Шустров В.А.1
1Ташкентский технический университет им.А.Р.Беруни
Поступила в редакцию: 8 августа 1993 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1993 г.
- Петров Н.Н. ФТП. 1960. Т. 11. В. 6
- Пктров Н.Н. Науч.-техн. инф. бюлл. ЛПИ. 1960. В. 3
- Бахадырханов М.К., Миркамилова М.С., Шустров В.А. УзФЖ. 1992. В. 2. С. 12--15
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
