Вышедшие номера
Визуализация пассивированной в водном растворе Na 2S поверхности скола арсенида галлия с помощью СТМ в атмосферных условиях
Анкудинов А.В.1, Лантратов В.М.1, Титков А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 сентября 1993 г.
Выставление онлайн: 20 января 1994 г.

Представлены результаты СТМ-исследований поверхностей n-GaAs (110), пассивированных в водном растворе Na2S. Показано, что с помощью Na2S пассивации можно подготовить поверхность скола с величиной R app=< 0.1 нм. На СТМ-изображении таким образом подготовленной поверхности ясно видна развитая структура атомных ступеней. При помощи Na2S пассивации были получены устойчивые к окислению поверхности, что дает возможность использовать их для создания с помощью СТМ искусственного нанорельефа на поверхности. Было также показано, что длительная обработка наряду с пассивацией приводит одновременно и к подтравливанию поверхности. При этом на поверхности развивается структура бугорков травления, ориентированных вдоль направления [110] плоскости скола.
  1. Higashi G.S., Becker R.S., Chabal Y.J., Becker A.J. Appl. Phys. Lett. 1991. V. 58. P. 1656
  2. Берковец В.Л., Иванцов Л.Ф., Макаренко И.В., Львова Т.В., Хассиева Р.В., Сафонов В.И. ФТП. 1991. Т. 25. N 3. С. 379
  3. Dagata J.A., Schneir J., Harary H.H., Bennet J., Tseng W. J. Vac. Sci. Tachnol. B. 1991. V. 9. N 2. P. 1384
  4. Dagata J.A., Tseng W., Bennet J., Schneir J., Harary H.H. Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59. N 25. P. 3288
  5. Dagata J.A., Tseng W., Bennet J., Schneir J., Harary H.H. Ultramicroscopy. 1992. N 42--44. P. 1288
  6. Richter R., Hartnagel H.L. J. Ekectrochem. Soc. 1991. V. 137. N 9. P. 2879
  7. Анкудинов А.В., Берковец В.Л., Львова Т.В., Титков А.Н. ФТТ. 1993. Т. 35. N 5. С. 1301
  8. Moller R., Coenen R., Koslowski B., Rauscher M. Surf. Sci. 1989. V. 217. P. 289
  9. Dagata J.A., Tseng W., Bennet J., Dobitz E.A., Schneir J., Harary H.H. J. Vac. Sci. Tachnol. A. 1992. V. 10. N 4. P. 2105
  10. Batterman B.W. J. Appl. Phys. 1957. V. 28. P. 1236
  11. Irving B.A. The Electrichemistry of Semiconductors / Ed. P.J.Holmes. Acad. Press, Lnt.--N.Y., 1962. Chap. 6. P. 262--289

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.