Издателям
Вышедшие номера
Структура и свойства тонких пленок PbZrTiO 3, полученных золь-гель методом
Ярмаркин В.К.1, Зайцева Н.В.1, Штельмах С.В.1, Моторный А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 мая 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.

На подложках < 111>Si с подслоем платины получены тонкие пленки PbZrTiO3 с помощью золь-гель метода. Показано, что при изменении условий температурной обработки пленок на этапе сушки геля можно получить как неориентированные, так и ориентированные (с осевой текстурой типа (100) ) пленки. Образование текстуры связывается с искусственной эпитаксией под действием механических напряжений. Проведены измерения петель диэлектрического гистерезиса, частотных зависимостей емкости, вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик пленок при использовании различных металлов в качестве материала верхнего электрода. Обсуждаются причины систематического смещения петель диэлектрического гистерезиса и механизм токопрохождения через структуры металл--сегнетоэлектрическая тонкая пленка--металл.
  • Scott J.F., Paz De Araujo C.A. Science. 1989. V. 246. N 15 Dec. P. 1400--1405
  • Paz De Araujo C.A., McMillan L.D., Melnick B.M., Cuchiaro J.D., Scott J.F. Ferroelectrics. 1990. V. 104. Pt. 1. P. 241--256
  • Ye C., Tamagawa T., Polla D.L. 6th Int. Conf. of Solid State Sensors and Actuators. San Fransisco. CA. 26 June 1991
  • Hsuen C.C., Tamagawa T., Ye C., Helgeson A., Polla D.L. Integr. Ferroelectrics. 1993. V. 3. N 1. P. 21--28
  • Scott J.F., Paz De Araujo C.A., Taylor G.W. Ferroelectrics. 1991. V. 116. P. 215--220
  • Kawaguchi T., Adashi H., Setsune R., Yamasaki O., Wasa K. Appl. Opt. 1984. V. 23. N 13. P. 2187--2191
  • Xu Y., McKenzie J.D. Integr. Ferroelectrics. 1992. V. 1. N 1. P. 17--42
  • Swartz S.L., Wood U.E. Cond. Matter News. 1992. V. 1. N 5. P. 4--11
  • Shirane G., Suzuki K., Takeda A. J. Phys. Soc. Jap. 1952. V. 7. N 1. P. 5--11
  • Yi G., Wu Z., Sayer M. J. Appl. Phys. 1988. V. 64. N 5. P. 2717--2724
  • Vorotilov K.A., Yanovskaja M.I., Dorokhova O.A. Integr. Ferroelectrics. 1993. V. 3. N 1. P. 33--49
  • Budd K.D., Dey S.K., Payne D.A. Proc. Brit. Ceram. Soc. 1985. V. 36. P. 107--121
  • Bityrin Yu A., Gaponov S.V., Gudkov A.A., Mironov V.I. J. Cryst. Growth. 1985. V. 73. N 3. P. 551--557
  • Croll S.G. J. Appl. Polym. Sci. 1979. V. 23. P. 847--858
  • Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. Ч. 1. 442 с
  • Aoki K., Fukuda Y., Nishimura A. Jpn. J. Appl. Phys. 1993. V. 32. N 9B. P. 4147--4149
  • Vasiliu F., Lucuta P.Gr., Constantinescu F. Phys. Stat. Sol. (a). 1983. V. 80. N 2. P. 637--642
  • Дудкевич В.П., Фесенко Е.Г. Физика сегнетоэлектрических пленок. Ростов-на-Дону: Изд-во РГУ, 1979. 190 с
  • Lomasov V.N., Shustrov B.A., Yarmarkin V.K. ISAF'90, Univ. of Illinois at Urbana-Champaign. IL. 6--8 June 1990. P.P. 411--414
  • Tohge N., Takahashi S., Minami T. J. Amer. Ceram. Soc. 1991. V. 74. N 1. P. 67--71
  • Subbarao E.C., McQuarry M.C., Buessem W.R. J. Appl. Phys. 1957. V. 28. N 10. P. 1194--1200
  • Amanuma K., Mori T., Hase T., Sakuma T. Jpn. J. Appl. Phys. 1993. V. 32. Pt. 1. N 9. B. P. 4150--4153
  • Hu H., Krupanidhi S.B. J. Appl. Phys. 1993. V. 74. N 5. P. 3373--3382
  • Dana S.S., Etzold K.F., Clabes J. J. Appl. Phys. 1991. V. 69. N 8. P. 3373--3382
  • Tredgold R.H. Space Charge Conduction in Solids. Amsterdam: Elsevier, 1966
  • Chinoveth A.G. Phys. Rev. 1956. V. 102. N 3. P. 705--714
  • Зи С.М. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1981. 655 с
  • Рабинович В.А., Хавин З.Я. Краткий химический справочник / Под ред. А.А. Потехина, А.И. Ефимова. Л.: Химия, 1991. 412 с
  • Waser R., Bajatu T., Hardtl K.-H. J. Amer. Ceram. Soc. 1990. V. 73. N 6. P. 1645--1673
  • Чеботин В.Н., Перфильев М.В. Электрохимия твердых электролитов. М.: Химия, 1978. 312 с
  • Xu Y., Chen C., McKenzie J.D. J. Appl. Phys. 1990. V. 67. N 6. P. 2985--2991
  • Mihara T., Watanabe H., Yoshimori H., Paz De Araujo C.A., Melnick B., McMillan L.D. Integr. Ferroelectrics. 1992. V. 1. N 2--4. P. 269--291
  • Scott J.F., Melnick B.M., McMillan L.D., Paz De Araujo C.A. Integr. Ferroelectrics. 1993. V. 3. N 3. P. 225--243
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.