Издателям
Вышедшие номера
Некоторые особенности формирования пленок SrTiO3 и Ba0.5Sr0.5TiO3 при магнетронном распылении
Гольцман Б.М.1, Зайцева Н.В.1, Крецер Ю.Л.1, Леманов В.В.1, Шаплыгина Т.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 июня 1995 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1995 г.

Ba0.5Sr0.5TiO3 SrTiO3 В работе исследовались состав и структура пленок SrTiO3 и Ba0.5Sr0.5TiO3, полученных ВЧ магнетронным распылением и подвергнутых последующему высокотемпературному отжигу, в зависимости от положения подложки относительно магнетрона. Установлено, что положение подложки влияет на отклонение стехиометрического состава пленок SrTiO3 с сторону избытка титана либо стронция, на интенсивность диффузии алюминия из подложки в пленку при отжиге, на возможность возникновения вспучивания пленок при отжиге, на тип осевой текстуры пленок . Показано, что отжиг резко усиливает текстуру пленок. Обсуждаются возможные причины наблюдаемых закономерностей.
  • Томашпольский Ю.Я., Севостьянов М.А., Ратников Г.Е., Федотов А.Ф. Кристаллография \bf 20, \it 1, 194 (1975)
  • Дудкевич В.П., Фесенко Е.Г. Физика сегнетоэлектрических пленок. Изд-во Ростовского ун-та (1979). С. 190
  • Вендик О.Г., Ильинский Л.С., Смирнов А.Д., Хижа Г.С. ЖТФ \bf 54, \it 4, 772 (1984)
  • Surowiak Z., Margolin A.M., Zaharchenko J.N., Biryukov S.V. Thin Solid Films \bf 176, \it 2 227 (1989)
  • Балашова Е.В., Гольцман Б.М., Ефимова Т.П., Зайцева Н.В., Мосина Г.Н., Сорокин Л.М. ФТТ \bf 35, \it 2, 442 (1993)
  • Jshinose N., Ogiwara T. Jpn. J. Appl. Phys. \bf32, pt 1, \it 9B, 4115 (1993)
  • Yamamuchi S., Yabuta H., Sakuma T., Miasaka Y. Appl. Phys. Lett. \bf 64, \it 13, 1644 (1994)
  • Sundgren J., Johanssen B.O., Karlsson S.E., Hentzell H.T.G. Thin Solid Films 105, \it 4, 367 (1983)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.