Комплексом методов одно-, двух- и трехкристальной дифрактометрии проведено исследование структурного совершенства тонких пленок YBaCuO, выращенных на подложках SrTiO3, MgO и сапфира методом магнетронного распыления. При помощи однокристальных измерений идентифицировались c- и a-ориентированные фазы, молоугловые границы и наклон плоскостей пленки относительно подложки. Из двумерного анализа зависимости полуширин трехкристальных кривых от угла Брэгга путем соответствующего построения были извлечены следующие структурные параметры: разориентация зерен, их размер, микродеформация внутри них. Показано, что преимущественный вклад в уширение кривых дифракционного отражения вносили разориентация зерен и микродеформация. В трехкристальной схеме произведено измерение параметра c и установлено, что он был неизменно больше параметра монокристаллов такого же состава. Из интегральных интенсивностей серии рефлексов 001--007, измеренных в двухкристальной схеме, получены толщины слоев и осуществлена оценка содержания кислорода в пленках.
Strerffer S.K., Lairson B.M., Brawman J.C.A. Appl. Phys. Lett. 57, 2501 (1990)
Kromann R., Vase P., Freltoft T., Bilde-Sorensen J.B., Reus R., Andersen N.H. J. Appl. Phys. 71, 3419 (1992)
Budai J.B., Young R.T., Chao B.S. Appl. Phys. Lett. 62, 1836 (1993)
Cui M., Maiz Z.H. Supercond. Sci. Technol. 4, 279 (1991)
Blue C.T. J. Appl. Phys. 72, 1021 (1992)
James R.W. The Optical Principles of the Diffraction of X-Rays. Bell London (1948)
Ivanov S.V., Altukhov P.D., Argunova T.S., Bakun A.A., Budza A.A., Chaldyshev V.V., Kovalenko Yu.A., Kop'ev P.S., Kutt R.N., Melster B.Ya., Ruvimov S.S., Shaposhnikov S.V., Sorokin L.M., Ustinov V.M. Semicond. Sci. Technol. 8, 347 (1993)
Кютт Р.Н., Шольц Р., Рувимов С.С., Аргунова Т.С., Будза A.A., Иванов С.В., Копьев П.С. ФТТ 35, \it 3, 724 (1993)
Кютт Р.Н., Сорокин Л.М., Аргунова Т.С., Рувимов С.С. ФТТ 36, \it 9, 2700 (1994)
Гасумянц В.Е., Козьмин С.А., Кайданов В.И., Смирнов В.И., Байков Ю.М., Степанов Ю.П. Сверхпроводимость 4, 1280 (1995)
Jorgensen J.D., Veal B.W., Paulikas A.P., Nowicki L.J. Phys. Rev. B41, 1836 (1990)
Yeh J.J. Appl. Phys. Lett. 54, 1163 (1989)
Eom C.B., Sun J.Z., Yamamoto K., Marshall A.F., Luther K.E., Geballe T.H., Laderman S.S. Appl. Phys. Lett. 55, 595 (1989)