Издателям
Вышедшие номера
Определение структурных параметров тонких пленок YBaCuO методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии
Кютт Р.Н.1, Аргунова Т.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 мая 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1995 г.

Комплексом методов одно-, двух- и трехкристальной дифрактометрии проведено исследование структурного совершенства тонких пленок YBaCuO, выращенных на подложках SrTiO3, MgO и сапфира методом магнетронного распыления. При помощи однокристальных измерений идентифицировались c- и a-ориентированные фазы, молоугловые границы и наклон плоскостей пленки относительно подложки. Из двумерного анализа зависимости полуширин трехкристальных кривых от угла Брэгга путем соответствующего построения были извлечены следующие структурные параметры: разориентация зерен, их размер, микродеформация внутри них. Показано, что преимущественный вклад в уширение кривых дифракционного отражения вносили разориентация зерен и микродеформация. В трехкристальной схеме произведено измерение параметра c и установлено, что он был неизменно больше параметра монокристаллов такого же состава. Из интегральных интенсивностей серии рефлексов 001--007, измеренных в двухкристальной схеме, получены толщины слоев и осуществлена оценка содержания кислорода в пленках.
  • Strerffer S.K., Lairson B.M., Brawman J.C.A. Appl. Phys. Lett. 57, 2501 (1990)
  • Kromann R., Vase P., Freltoft T., Bilde-Sorensen J.B., Reus R., Andersen N.H. J. Appl. Phys. 71, 3419 (1992)
  • Budai J.B., Young R.T., Chao B.S. Appl. Phys. Lett. 62, 1836 (1993)
  • Cui M., Maiz Z.H. Supercond. Sci. Technol. 4, 279 (1991)
  • Blue C.T. J. Appl. Phys. 72, 1021 (1992)
  • James R.W. The Optical Principles of the Diffraction of X-Rays. Bell London (1948)
  • Ivanov S.V., Altukhov P.D., Argunova T.S., Bakun A.A., Budza A.A., Chaldyshev V.V., Kovalenko Yu.A., Kop'ev P.S., Kutt R.N., Melster B.Ya., Ruvimov S.S., Shaposhnikov S.V., Sorokin L.M., Ustinov V.M. Semicond. Sci. Technol. 8, 347 (1993)
  • Кютт Р.Н., Шольц Р., Рувимов С.С., Аргунова Т.С., Будза A.A., Иванов С.В., Копьев П.С. ФТТ 35, \it 3, 724 (1993)
  • Кютт Р.Н., Сорокин Л.М., Аргунова Т.С., Рувимов С.С. ФТТ 36, \it 9, 2700 (1994)
  • Гасумянц В.Е., Козьмин С.А., Кайданов В.И., Смирнов В.И., Байков Ю.М., Степанов Ю.П. Сверхпроводимость 4, 1280 (1995)
  • Jorgensen J.D., Veal B.W., Paulikas A.P., Nowicki L.J. Phys. Rev. B41, 1836 (1990)
  • Yeh J.J. Appl. Phys. Lett. 54, 1163 (1989)
  • Eom C.B., Sun J.Z., Yamamoto K., Marshall A.F., Luther K.E., Geballe T.H., Laderman S.S. Appl. Phys. Lett. 55, 595 (1989)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.