Издателям
Вышедшие номера
Изменение работы выхода электронов с поверхности полупроводников A 3B 5 при сульфидной пассивации
Бессолов В.Н.1, Иванков А.Ф.1, Лебедев М.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 января 1996 г.

Изучалось изменение работы выхода электронов при обработке поверхности полупроводников A3B5 в водных растворах сульфида натрия. Показано, что в процессе сульфидной пассивации существенную роль играет как исходная электронная структура поверхности полупроводника перед сульфидированием, так и состояние сульфид-иона в растворе. Предложена и экспериментально проверена на примере GaAs, GaP и InP модель процесса взаимодействия сульфид-иона с валентными электронами полупроводника при сульфидировании его поверхности. В ходе этого взаимодействия происходит изменение электрохимического потенциала (уровня Ферми) полупроводника так, что изменяется работа выхода электронов с его поверхности. Величина изменения работы выхода зависит от температуры сульфидирования и линейно уменьшается с увеличением исходной работы выхода несульфидированного полупроводника, причем наклон этой зависимости определяется атомной структурой сульфидированной поверхности полупроводника. У полупроводника, исходная работа выхода которого равна эффективной электроотрицательности сульфид-иона в растворе, работа выхода не меняется при сульфидировании. Эффективная электроотрицательность сульфид-иона в растворе зависит от ионности химической связи сульфидируемого полупроводника.
  • Sandroff C.J., Nottenburg R.N., Bischoff J.-C., Bhat R. Appl. Phys. Lett. 51, \it 1, 33 (1987)
  • Sandroff C.J., Hegde M.S., Farrow L.A., Bhat R., Harbinson J.P., Chang C.C. J. Appl. Phys. 67, \it 1, 586 (1990)
  • Oigawa H., Fan J.-F., Nannichi Y., Sugahara H., Oshima M. Jpn. J. Appl. Phys. 30, \it 3A, L322 (1991)
  • Iyer R., Chang R.R., Dubey A., Lile D.L. J. Vac. Sci. Technol. B6, \it 4, 1174 (1988)
  • Nottenburg R.N., Sandroff C.J., Humphrey D.A., Hollenbeck D.A., Bhat R. Appl. Phys. Lett. 52, \it 3, 218 (1988)
  • Carpenter M.S., Melloch M.R., Lundstrom M.S., Tobin S.P. Appl. Phys. Lett. 52, \it 25, 2157 (1988)
  • Fan J.-F., Oigawa H., Nannichi Y. Jpn. J. Appl. Phys. 27, \it 7, L1331 (1988)
  • Howard A.J., Ashby C.I.H., Lott J.A., Scheneider R.P., Corless R.F. J. Vac. Sci. Technol. A12, \it 4, 1063 (1994)
  • Бессолов В.Н., Лебедев М.В., Львова Т.В., Новиков Е.Б. ФТТ 34, \it 6, 1713 (1992)
  • Bessolov V.N., Lebedev M.V., Novikov E.B., Tsarenkon B.V. J. Vac. Sci. Technol. B11, \it 1, 10 (1993)
  • Carpenter M.S., Melloch M.R., Cowans B.A., Dardas Z., Delgas W.N. J. Vac. Sci. Technol. B7, \it 4, 845 (1989)
  • Sandroff C.J., Hegde M.S., Chang C.C. J. Vac. Sci. Technol. B7, \it4, 841 (1989)
  • Besser R.S., Helms C.R. Appl. Phys. Lett. 52, \it 20, 1707 (1988)
  • Berkovits V.L., Bessolov V.N., L'vova T.V., Novikov E.B., Safarov V.I., Khassieva R.V., Tsarenkov B.V. J. Appl. Phys. 70, \it 7, 3707 (1991)
  • Koenders L., Blomacher M., Monch W. J. Vac. Sci. Technol. B6, \it 4, 1416 (1988)
  • Бессолов В.Н., Иванков А.Ф., Коненкова Е.В., Лебедев М.В. Письма в ЖТФ 21, \it 1, 46 (1995)
  • Бессолов В.Н., Ершов С.Г., Иванков А.Ф., Лебедев М.В. ФТТ 36, \it 12, 3601 (1994)
  • Electronegativity / Ed. K.D.Sen, C.K.Jorgensen, Springer-Verlag. Berlin (1987). P. 220
  • Parr R.G., Donnelly R.A., Levy M., Palke W.E. J. Chem. Phys. 68, \it 8, 3801 (1978)
  • Parr R.G., Pearson R.G. J. Am. Chem. Soc. 105, \it 26, 7512 (1983)
  • Klopman G. J. Am. Chem. Soc. 90, 2, 223 (1968)
  • Piquini P., Fazzio A., Dal Pino A., Jr. Surf. Sci. 313, 41 (1994)
  • Van Genechten K.A., Mortier W.J., Geerlings P. J. Chem. Phys. 86, \it 9, 5063 (1987)
  • Phillips J.C. Rev. Mod. Phys. 42, 3, 317 (1970)
  • Lu Z.H., Graham M.J., Feng X.H., Yang B.X. Appl. Phys. Lett. 60, \it 22, 2773 (1992)
  • Lu Z.H., Graham M.J. J. Appl. Phys. 75, \it 11, 7567 (1994)
  • Berkovits V.L., Padet D. Appl. Phys. Lett. 61, \it 15, 1835 (1992)
  • Wang X.-S., Weinberg W.H. J. Appl. Phys. 75, \it 5, 2715 (1994)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.