Издателям
Вышедшие номера
Электрофизические свойства эпитаксиальных пленок ниобия, полученных импульсным лазерным испарением
Михайлов Г.М.1, Маликов И.В.1, Петрашов В.Т.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
Поступила в редакцию: 15 января 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Представлены результаты исследования электросопротивления тонких (8-120 nm) эпитаксиальных пленок ниобия, полученных методом импульсного лазерного испарения на подложке из [1012]-сапфира при температуре подложек 950oC. Отношение сопротивлений при комнатной температуре и температуре 9.5 K было в диапазоне 4--135 и зависело от толщины пленок. Аппроксимация по формулам классического размерного эффекта позволила определить коэффициенты зеркальности и остаточной объемной длины пробега электронов, которые составили соответственно 0.1 и около 1.6 mum, а эффективная длина пробега электронов была в пределах 8--270 nm. Температура сверхпроводящего перехода уменьшалась с толщиной, начиная с 9.19 до 8.57 K при толщине пленки 18 nm, и коррелировала с длиной свободного пробега электронов.
  • D.B. Mc Whan. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 37, 493 (1985)
  • A.F. Mayadas, R.B. Laibowitz, J.J. Cuomo. J. Appl. Phys. 43, \it 3, 1287 (1972)
  • Y. Asada, H. Nose. J. Phys. Soc. Jap. 26, \it 2, 347 (1969)
  • В.М. Пан, В.Г. Прохоров, Г.Г. Каминский. ФНН 6, \it 8, 968 (1980)
  • Л.П. Ичкитидзе, Р.А. Баблидзе, В.П. Кузнецов, В.И. Скобелкин. ФНН 12, \it 5, 474 (1986)
  • Y. Agarashi, M. Kanayama. J. Appl. Phys. 57, \it 3, 849 (1995)
  • G. Oya, M. Koishi, Y. Sawada. J. Appl. Phys. 60, \it 4, 1440 (1986)
  • S. Washburn, R.A. Webb. Adv. Phys. 35, \it 4, 375 (1986)
  • V. Petrashov, V. Antonov, P. Delsing, T. Claeson. Phys. Rev. Lett. 70, 347 (1992)
  • G.M. Mikhailov, V.T. Petrashov. Phys. Low-Dim. Struct., \it11/12, 135 (1994)
  • С.В. Гапонов, Б.М. Лускин, Б.А. Нестеров, Н.Н. Салашенко. Письма в ЖЭТФ 12, 573 (1977)
  • C. Surgers, C. Strink, H. Lohneysen. Thin Solid Films 239, 51 (1994)
  • D.M. Tricker, W.M. Stobbs. Phil. Mag. A71, \it 5, 1051 (1995)
  • D.C. Larson. In: Physics of thin films. Advances in Reaseach and Development / Ed. M.H. Francombe, R.W. Hoffman. (1971). V. 6. Ch. 2
  • Ю.П. Гайдуков, Я. Кадлецова. ЖЭТФ 59, 700 (1970)
  • Н.Е. Алексеевский, В.И. Нижанковский, К.-Х. Бертель. ФММ 37, \it 1, 63 (1974)
  • G.M. Webb. Phys. Rev. 181, 3, 1127 (1969)
  • N.V. Volkenshtein, V.P. Dyakina, V.E. Startsev. Phys. Stat. Sol. (b) 57, 9 (1979)
  • К.А. Осипов, А.Ф. Фролов, В.П. Дмитриев, Р.Ф. Ивановская, Ю.Н. Лозинский. ФММ 32, \it 4, 878 (1971)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.