"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Изменение структуры палладиевого электрода МДП сенсора при циклическом воздействии водорода
Кикоин Л.И.1, Терентьев А.А.1, Филиппов В.И.1, Якимов С.С.1
1Российский научный центр ''Курчатовский институт'',, Москва
Поступила в редакцию: 7 октября 1993 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1994 г.

Изучалось влияние многократного циклического воздействия водорода (МЦВВ) на палладиевый электрод сенсора на основе МДП структуры. Показано, что даже при малых количествах водорода, циклически подаваемого на газочувствительный элемент сенсора, происходит значительное изменение структуры нанесенного на диэлектрик палладиевого электрода. При исследовании с помощью оптического микроскопа было обнаружено изменение поверхности электрода. Характер структурных изменений определялся косвенным образом при изучении процессов адсорбции и десорбции водорода и аммиака. Обнаружено, что для аммиака эти процессы мономолекулярны. Можно предположить, что с учетом появления чувствительности сенсора к моноокиси углерода образование пор в палладиевом электроде в процессе воздействия. Предложен механизм образования структурных изменений электрода.
  • Lundstrom I., Armgarth M., Spets A., Winquist F. Sensors and Actuators. 1986. Vol. 10. P. 399
  • Lundstrom I., Shivaraman M., Svensson C. Surf. Sci. 1977. Vol. 64. P. 497
  • Armgarth M., Nylander C. IEEE Lett. 1982. Vol. EPL-3. N 12. P. 384
  • Shivaraman M., Svensson C. J. Electronic Soc. 1976. Vol. 123. P. 1258
  • Ржанов А.Е., Филиппов В.И., Чапланов В.А., Якимов С.С. Микроэлектроника. 1989. Т. 18. Вып. 1. С. 50
  • Грабчак В.П., Терентьев А.А., Филиппов В.И., Якимов С.С. Журн. анал. хим. 1993. Т. 48. Вып. 3. С. 450
  • Petersson L.-G., Dannetun H.M., Fogelberg J., Lundstrom I. J. Appl. Phys. 1985. Vol. 58. P. 404
  • Lundstrom I., Armgarth M., Spets A., Winquist F. Proc. 2^ nd Intern. Meeting Chemical Sensors. Bordeaux (France), 1986. P. 387
  • Maclay G. Jordan, Jelley Kevin W. Proc. 2^ nd Intern. Meeting Chemical Sensors. Bordeaux (France). 1986. P. 415
  • Жданов В.П. Элементарные физико-химические процессы на поверхности. Новосибирск: Наука, 1988. 296 с
  • Ржанов А.Е., Филиппов В.И. Микроэлектроника. 1990. Т. 19. P. 106
  • Lundstrom I., Spets A., Winquist F. et al. Sensors and Actuators. 1990. Vol. 10. P. 15
  • Грязнов В.М., Мишенко А.П., Поляков В.П. и др. ДАН СССР. 1973. Т 211. С. 624
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.