Особенности процессов осаждения и свойства слоев кремния, полученных струйным плазмохимическим методом с электронно-лучевой активацией газов
Шарафутдинов Р.Г., Бакланов М.Р., Аюпов Б.М., Бадалян А.М., Поляков О.В., Скрытников А.В., Парахневич А.В., Могильников К., Бирюков С.А.
Поступила в редакцию: 15 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.
- Halpern B.L., Schmitt J.J, Golz J.W. et al. Appl. Surf. Sci. 1991. Vol. 48/49. P. 19--26
- Sharafutdinov R.G., Sukhinin G.I., Veshcikov S.I. Biryukov S.A. 10^th Intern. Symp. Plasma Chem. Bochum (Germany), 1991. Vol. 3. P. 1--6
- Askenas H., Sherman F.S. Proc. 4^th Intern. Symp. Vol. 2. New York; London: Academic Press, 1966. P. 84--94
- Hishikawa J., Tsuda S., Wakisaka K., Kuwano Y. J. Appl. Phys. 1993. Vol. 73. N 9. P. 4247--4251
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук