"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Кинетика зарождения однокомпонентных пленок из расплавов и растворов
Кукушкин С.А.1, Осипов А.В.1
1Институт проблем машиноведения РАН,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1995 г.

Предложена кинетическая модель, описывающая процессы зародышеобразования и роста отдельных островков на подложке при осаждении пленок из расплава и раствора. Вычислены зависимости от времени всех основных характеристик процесса зарождения: скорости зародышеобразования, поверхностной концентрации островков новой фазы, их распределения по размерам, переохлаждения или пересыщения. Показано, что при идентичных условиях зарождение пленок из раствора протекает значительно медленнее, чем из расплава, причем пленка получается в этом случае более мелкозернистой. Отмечено, что если подложка, находящаяся в жидкой фазе, вращается параллельно ее плоскости, то, изменяя скорость вращения подложки, можно в некоторых пределах управлять структурой пленок.
  • Lewis B., Anderson J.C. Nucleation and growth of thin films. N.Y.: Acad. Press, 1978. 504 p
  • Venables J.A., Spiller G.D.T., Hanbucken M. Rep. Prog. Phys. 1984. Vol. 47. N 4. P. 399--459
  • Stoyanov S., Kashchiev D. Curr. Top. Mater. Sci. 1981. Vol. 7. P. 69--141
  • Иевлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1982. 248 с
  • Калинкин И.П., Алесковский В.Б., Симашкович А.В. Эпитаксиальные пленки соединений A-=SUP=-2-=/SUP=-B-=SUP=-6-=/SUP=-. Л., 1978. 311 с
  • Osipov A.V. Thin Solid Films. 1993. Vol. 227. P. 111--118
  • Kukushkin S.A., Osipov A.V. Thin Solid Films. 1993. Vol. 227. P. 119--127
  • Kukushkin S.A. Thin Solid Films. 1992. Vol. 207. P. 302--312
  • Кукушкин С.А. Поверхность. 1986. N 10. С. 53--60
  • Кукушкин С.А. ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 6. С. 1582--1608
  • Kukushkin S.A. Thin Solid Films. 1994. Vol. 239. P. 16--26
  • Андреев В.М., Долгинов Л.М., Третьяков Д.Н. Жидкостная эпитаксия и технология полупроводниковых приборов. М.: Сов. радио, 1975. 328 с
  • Айтиева Г.Т., Бессолов В.Н., Клименко С.Е. и др. Письма в ЖТФ. 1985. Т. 116. Вып. 8. С. 465--468
  • Уфимцев В.Б., Ангурин Р.Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. М.: Металлургия, 1983. 222 с
  • Сакало Т.В., Бессолов В.Н., Кукушкин С.А. и др. ЖТФ. 1992. Т. 62. Вып. 3. С. 100--105
  • Скрипов В.П., Коверда В.П. Спонтанная кристаллизация переохлажденных жидкостей. М.: Наука, 1964. 231 с
  • Осипов А.В. ФТТ. 1994. Т. 36. Вып. 5. С. 1181--1186
  • Иванцов Г.П. Рост кристаллов. М., 1961. Т. 36. С. 75--84
  • Кукушкин С.А., Разумов С.В., Калинкин И.П., Красилькова М.В. Кристаллография. 1990. N 6. С. 1517--1522
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.