"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Возможности управления механизмами роста ВТСП пленок молекулярно-пучковой эпитаксией
Мамутин В.В.1
1Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.

Проведен анализ различных моделей роста молекулярно-пучковой эпитаксией (МПЭ) применительно к получению ВТСП пленок. Выяснены основные критерии управления механизмами роста и определяющее влияние скоростей роста на кристаллическое совершенство пленок и показано, что не существует независимой от скоростей роста температуры эпитаксии. Подтверждено из сравнения с различными теоретическими моделями и экспериментальными данными, что при выращивании МПЭ методом соиспарения со скоростями роста в диапазоне 0.01--0.1 Angstrem/с при 400 oC в наших условиях осуществляется двумерный механизм роста (layer-by-layer) и исключен терхмерный (multilayer) механизм. Проведенный анализ и оценки позволяют управлять механизмами роста и делать выбор оптимальных условий роста МПЭ для получения кристаллически совершенных ВТСП пленок при экстремально низких температурах (400 oC и ниже).
  • Bednorz J.G., Muller K.A Z. Phys. B. 1986. Vol. 64. P. 189
  • Mukaida M., Miyazawa S., Sasaura M., Kuroda K. Jap. J. Appl. Phys. 1990. Vol. 29. N 6. P. L936--L939
  • Tsukada I., Uchinokura K. Jap. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 30. N 8B. P. L1468--L1470
  • Nakamura O., Fullerton E.E., Guimpel J. et al. Appl. Phys. Lett. 1992. Vol. 60. N 1. P. 120--122
  • Nonaka H., Shimizu T., Arai K. Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 57. N 26. P. 2850--2852
  • Johnson B.R., Beauchamp K.M., Wang T. et al. Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 56. N 19. P. 1911--1913
  • Sawa A., Obara H., Kosaka S. Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 64. N 5. P. 649--651
  • Ekstein J.N., Bozovic I., Schlom D.G., Harris J.S., jr. Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 57. N 10. P. 1049--1051
  • Schuhl A., Cabanel R., Lequien S. et al. Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 57. N 8. P. 819--821
  • Locquet J.-P., Catana A., Machler E., Bednorz J.B. Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 64. N 3. P. 372--374
  • Lagally Max G. Physics Today. 1993. Vol. 46. N 11. P. 24--31
  • Mukaida M., Miyazawa S., Sasaura M. Jap. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 30. N 8B. P. L1474--1476
  • Irisawa T., Arima Y., Kuroda T. J. Cr. Growth. 1990. Vol. 99. P. 491--495
  • Marmorkos I.K., Das Sarma S. Surf. Sci. Lett. 1990. Vol. 237. P. L411--L416
  • Nishinaga T., Shitara T., Mochizuki K., Cho K.I. J. Cr. Growth. 1990. Vol. 99. P. 482--490
  • Das Sarma S. J. Vac. Sci. Technol. 1990. Vol. A8. N 3. P. 2714--2726
  • Luzeau P., Xu X.Z., Lagues M. et al. J. Vac. Sci. Techn. 1990. Vol. A8. N 6. P. 3938--3944
  • Kita R., Hase T., Itti R. et al. Appl. Phys. Lett. 1992. Vol. 60. N 21. P. 2684--2687
  • Мамутин В.В., Копьев П.С., Картенко Н.Ф. и др. СФХТ. 1993. Т. 6. N 4. С. 797--806
  • Мамутин В.В., Картенко Н.Ф., Голощапов С.И. Письма в ЖТФ, 1993. Т. 6. Вып. 5. С. 48--52
  • Mamutin V.V., Kartenko N.F., Goloschapov S.I. et al. Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 64. N 15. P. 2031--2033
  • Stoyanov S. and Michailov M. Surf. Sci. 1988. Vol. 202. P. 109--124
  • Ernst H.-J., Fabre F., Folkerts R., Lapujoulade J. Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 72. N 1. P. 112--115
  • Johnson M.D., Orme C., Hunt A.W. et al. Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 72. P. 116--118
  • Schowobel R.L. J. Appl. Phys. 1969. Vol. 44. P. 614
  • Ehrlich G., Wang S.-C. Phys. Rev. Lett. 1991. Vol. 67. P. 2509--2512
  • Kunkel R., Poelsema B., Verheij L.K., Comsa G. Phys. Rev. Lett. 1990. Vol. 65. N 6. P. 733--736
  • Zhang Z., Lagally Max G. Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 72. N 5. P. 693--696
  • Tersoff J., Denier A.W., Van der Gon, Treomp R.M. Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 72. N 2. P. 266--269
  • Esch S., Hohage M., Michely T., Comsa G. Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 72. N 4. P. 518--522
  • Teshima H., Shimada H., Imafuku M., Tanaka K. Physica C. 1993. Vol. 206. P. 103--109
  • Norimoto K., Sekine R., Mori M. et al. Appl. Phys. Lett. 1992. Vol. 61. N 16. P. 1971--1973
  • Nonaka H., Shimizu T., Arai K. Physica C. 1993. Vol. 217. P. 280--286
  • Streiffer S.K., Lairson B.M., Eom C.B. et al. Phys. Rev. B. 1991. Vol. 43. P. 13007
  • Shimizu T., Hirayama F., Oka K. et al. Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 64. N 10. P. 1289--1291
  • Troger L., Fork D.K., Boyce J.B. J. Appl. Phys. 1992. Vol. 72. N 10. P. 4816--4819
  • Wu S., Ng K.-W., Robertson J.D., Jacob R.J. J. Appl. Phys. 1992. Vol. 72. N 11. P. 5337--5340
  • Chandrasekhar N., Agrawal V., Achutharaman V.S., Goldman A.M. Physica C. Vol. 205. N 1, 2. P. 161--169
  • Chandrasekhar N., Achutharaman V.S., Agrawal V., Goldman A.M. Phys. Rev. B. 1992. Vol. 46. N 13. P. 8565--8572
  • Terashima T., Iijima K., Yamamoto K. et al. Jap. J. Appl. Phys. 1989. Vol. 28. N 6. P. L987--L990
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.