Halpern B.L., Schmitt J.J., Golz J.W. et al. Appl. Surf. Sci. 1991. Vol. 48/49. P. 19
Janes J., Lutz N. Rev. Sci. Instr. 1991. Vol. 62 (10). P. 2356
Meeusen G.J., Ershov-Pavlov E.A., Meulenbroeks R.F.G. et al. 10^th Intern. Symp. on Plasma Chem. (ISPC-10). Bochum, 1991. P. 1. 2--7
Wilbers A.T.M., Meeusen G.J., Haverlag M. et al. Thin Solid Films. 1991. Vol. 204. P. 59
Kessler F., Mohring H.-D., Bauer G.H. J. Non-Cryst. Solids. 1991. Vol. 137\&138. P. 745
Beulens J.J., Kroesen G.M.W., Schram D.C. et al. J. Appl. Polym. Sci. 1990. Vol. 46. P. 527
Eres D., Lowndes D.H., Tischler J.Z. Appl. Phys. Lett. 1989. Vol. 55 (10) P. 1008
Nakano M., Sakaue H., Kawamoto H. et al. Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 57 (11). P. 1096
Horiike Y., Tanaka T., Nakano M. et al. J. Vac. Sci. Technol. 1990. Vol. A 8 (3). P. 1844
Sharafutdinov R.G., Sukhinin G.I., Veschikov S.I., Biryukov S.A. 10^th Intern. Symp. Plasma Chem. (ISPC-10). Bochum. 1991. Vol. 2. P. 4--22
Ngueyen S.V. J. Vac. Sci. Technol. 1986. Vol. B4. P. 1159
Baklanov M.R., Vasilyeva L.L., Gavrilova T.A. et al. Thin Solid Films. 1989. Vol. 171. P. 43
Chau T., Mejia S.R., Kao K.C. Can. J. Phys. 1991. Vol. 69. P. 165
Kulich W., Kassing R. J. Vac. Sci. Technol. 1987. Vol. B. P. 523
Boyer P.K., Roche G.A., Ritohic W.H., Collins G.J. Appl. Phys. Lett. 1982. Vol. 40. P. 716
Alonso J.C., Ortiz A., Falcony C. Vacuum. 1992. Vol. 43. N 8. P. 843
Belousov I.I., Efimov V.M., Sinitsa S.P. et al. Phys. Stat. Sol. (a). 1991. Vol. 125. P. 387
Fowler R.H., Nordgeim L. Proc. Roy. Sos. 1928. Vol. 119. P. 173
Taft E.A. J. Electrochem. Soc. 1979. Vol. 126. P. 1729
Lucovsky G., Tsu D.V. J. Vac. Sci. Technol. 1987. Vol. A5 (4). P. 2231
Smith R.W., Rose A. Phys. Rev. 1955. Vol. 97. P. 1531
Zor. M., Hogarth C.A. Phys. Stat. Sol. (a). 1987. Vol. 99. P. 513
Murtgatroyd P.N. J. Phys. 1970. Vol. D 13. P. 151
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.