Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 1994, выпуск 7 » Статья стр. 51
<<<>>>
Особенности роста эпитаксиальных слоев карбида кремния из газовой фазы, создаваемой магнетронным реактивным распылением
Рогачев Н.А.1, Кузнецов А.Н.1, Теруков Е.И.1, Лебедев А.А.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.
PDF версия
  1. Nishino S., and Saraie J. Springer Proc. Phys. V. 34. Springer, Berlin, 1989, p. 186
  2. Sugii T., Aoyama T., Ito T. J. Electrochem. Soc. 1990. V. 3. P. 989
  3. Motoyama S., Morikawa N., Nasu M., Konedan S. J. Appl. Phys. 1990. V. 68. P. 101
  4. Yoshinobu T., Mitsui H., Tarui Y., Fuyuki T., Matsunami H. J. Appl. Phys. 1992. V. 72. P. 2006
  5. Wahab Q., Hultman L., Sundgren J.-E., Willander M. J. Mater. Sci. Eng. 1992. B. 11. P. 61
  6. Аникин М.М., Андреев А.Н., Лебедев А.А., Пятко С.Н., Расстегаева М.Г., Савкина Н.С., Стрельчук А.М., Сыркин А.Л., Челноков В.Е. ФТП. 1991. Т. 25. С. 328

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme