Влияние отжига в поле СВЧ излучения на остаточную деформацию и примесный состав приповерхностных слоев кремния
Пашков В.И., Перевощиков В.А., Скупов В.Д.
Поступила в редакцию: 29 января 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.
- Абдурахимов Д.Е., Вахидов Ф.Ш., Верещагин В.Л. и др. Микроэлектроника. 1991. Т. 20. В. 1. С. 21--25
- Быков Ю.В., Еремеев А.Г., Пашков В.И., Перевощиков В.А., Скупов В.Д. Гетерирование примесей и дефектов в кремнии при обработке в СВЧ поле. Деп. ВИНИТИ. 1991. N 2322--B91. 14 с
- Дороничева Н.И., Ладочкин А.А., Мейлер Б.Л. и др. Кристаллография. 1984. Т. 29. В. 2. С. 337--342
- Вавилов В.С., Киселев В.Ф., Мукашев Б.Н. Дефекты в кремнии и на его поверхности. М., 1990. 216 с
- Перевощиков В.А., Скупов В.Д. Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников. Н. Новгород: Нижегородск. ГУ. 1992. 198 с
- Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. ФТП. 1987. Т. 21. В. 8. С. 1495--1497
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук