Baker A.K., Dyer P.E. Appl. Phys. A. 1993. V. 57. P. 543--544
Phillips H.M., Wahl S., Sauerbrey R. Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. N 20. P. 2572--2577
Askins C.G., Tsai T.-E., Williams G.M. et al. Opt. Lett. 1992. V. 17. P. 833--835
Babin A.A., Bityurin N.M., Polyakov A.V., Fel'dshtein F.I.,\commes Khvatova N.L. Lаser Phys. 1992. V. 2. N 5. P. 805--810
Моро У. Микролитография. Ч. 2. М.: Мир, 1990. С. 1235. (\it Moreau W. Semiconductor Lithography. Plenum Press, New York and London, 1988)
Валиев К.А., Великов Л.В., Душенков С.Д., Сулимов Н.А. Поверхность. 1987. N 9. С. 94--98
Раков А.В., Щучкин А.Г. Труды ИОФАН. 1987. Т. 8. С. 87--100
Валиев К.А., Великов Л.В., Дорофеев Ю.И., Крамаренко А.С., \it Скурат В.Е., Тальрозе В.Л. Поверхность. 1985. N 6. С. 86
Александров А.П., Битюрин Н.М., Генкин В.Н., Миллер А.М. Поверхность. 1987. N 10. С. 106--114
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.