Новый фотометрический метод для оптической диагностики поверхностных слоев прозрачных материалов
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.
Рассматривается способ определения параметров сверхтонкого поверхностного слоя посредством нанесения на него второго прозрачного сверхтонкого слоя с произвольными параметрами и измерения углового спектра, вызванного этим слоем дифференциального отражения p-поляризованного света около угла Брюстера. Показано, что в первом приближении полуширина такого спектра зависит линейно от толщины первоначального поверхностного слоя и вообще не зависит от параметров второго слоя. Это дает возможность легко определить толщину исследуемого поверхностного слоя, если показатели преломления известны. Для одновременного определения двух неизвестных - показателя преломления и толщины поверхностного слоя используется в качестве второй независимой величины дифференциальное отражение s-поляризованного света.
- Wormeester H., Wentink D.J., de Boej P.L. et al. Phys. Rev. B. 1993. V. 47. N 19. P. 12663--12671
- Kamiya I., Aspnes D.E., Florez L.T., Harbison J.P. Phys. Rev. B. 1992. V. 46. N 24. P. 15894--15904
- Chiarotti G. Surf. Sci. 1994. V. 299/300. P. 541--550
- Shen Y.R. Surf. Sci. 1994. V. 299/300. P. 551--562
- Moon J.A., Tauc J. J. Appl. Phys. 1993. V. 73. N 9. P. 4571--4578
- Кузьмин В.Л., Романов В.П., Михайлов А.В. Опт. и спектр. 1992. Т. 73. В. 1. С. 3--47
- Optical Characterization of Epitaxial Semiconductor Layers / Ed. by G. Bauer, W. Richter. Berlin, Heidelberg: Springer-Verlag, 1996. 429 p
- Aspnes D.E. Surf. Sci. 1994. V. 307--309. P. 1017--1027
- Drevillon B. Appl. Surf. Sci. 1993. V. 63. P. 27--34
- Deppert K., Jonsson J., Samuelson L. Thin Solid Films. 1993. V. 224. P. 133--136
- Armstrong S.R., Hoare R.D., Pemble M.E. et al. J. Crystal Growth. 1992. V. 124. P. 37--43
- Schaaf P., Dejardin P., Schmitt A. Langmuir. 1987. V. 3. P. 1131--1135
- Fauchet P.M. IEEE J. Quantum Electron. 1989. V. 25. N 5. P. 1072--1078
- Nishi K., Usui A., Sakaki H. Thin Solid Films. 1993. V. 225. P. 47--52
- Kobayashi R., Narahara S., Ishikawa K., Hasegawa F. Jpn. J. Appl. Phys. 1993. V. 32. Part. 2. N 2A. P. L164--L166
- Dietz N., Lewerenz H.J. Appl. Surf. Sci. 1993. V. 69. P. 350--354
- Никитенко А.А., Савранский В.В. Опт. и спектр. 1994. Т. 76. N 6. С. 1005--1007
- Van der Zeeuw E.A., Koper G.J.M., Bedeaux D. Progr. Colloid Polym. Sci. 1995. V. 98. P. 291--294
- Abeles F. Progress in Optics. V. 2. Amsterdam: North Holland Publ., 1963. P. 249
- Hacskaylo M. J. Opt. Soc. Amer. 1964. V. 54. N 2. P. 198--203
- Oliver W.R. Phil. Mag. 1970. V. 21. P. 1229--1235
- Burns W.K., Lee A.B. J. Opt. Soc. Amer. 1974. V. 64. N 1. 108--109
- Бугнин Г.А. Опт. и спектр. 1974. Т. 37. В. 1. С. 197--198
- Wu Q.H., Hodgkinson I. J. Opt. Soc. Amer. A. 1993. V. 10. N 9. P. 2072--2075
- Macleod H.A. Thin-film optical filters. Bristol: Adam Hilger Ltd., 1986. 519 p
- Адамсон П.В. Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. В. 14. С. 69--76
- Drude P. Lehrbuch der Optik. Leipzig: Verlag von S. Hirzel, 1912
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
