"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Технологические возможности повышения точностных параметров фотоприемника мультискан
Подласкин Б.Г.1, Токранова Н.А.1, Васильев А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН С.-Петербург
Поступила в редакцию: 22 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Рассмотрены возможности улучшения точностных характеристик фотоприемника мультискан путем использования различных глубин анизотропного травления кремния при изготовлении структур КСДИ. Предложена и описана новая конструкция, проанализированы ее основные характеристики. Показано снижение влияния дискретности структуры прибора на величину периодической составляющей ошибки координирования положения одиночного светового пятна малого размера.
  • Берковская К.Ф., Кириллова Н.В., Подласкин Б.Г., Столовицкий В.М., Токранова Н.А. Научно-технические достижения. М.: ВИМИ, 1992. В. 2. С. 22--25
  • Подласкин Б.Г., Романова Е.П., Юферев В.С. ЖТФ. 1992. Т. 62. В. 10. С. 126--137
  • Брюхно Н.А., Жарковский Е.М., Концевой Ю.А., Сахаров Ю.Г. Обзоры по электронной технике. Сер. 3. Микроэлектроника. 1987. В. 4. (1304). 40 с
  • Подласкин Б.Г., Романова Е.П., Юферев В.С. ЖТФ. 1993. Т. 63. В. 11. С. 1--7
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.