Издателям
Вышедшие номера
Коэситная природа стержнеобразных дефектов в выращенном по Чохральскому и отожженном кремнии
Малышев К.Л., Романов А.Е., Ситникова А.А., Сорокин Л.М.
Выставление онлайн: 19 ноября 1990 г.

Сопоставляются две континуальные модели стержнеобразного дефекта (СД), возникающего в процессе преципитации кислорода при низкотемпературном отжиге (T=750oС) выращенных по Чохральскому кристаллов кремния. С этой целью сравниваются расчетные и экспериментальные электронно-микроскопические изображения СД. В обеих моделях реализовано предположение о том, что дефект является включением в алмазной решетке коэсита --- фазы высокого давления SiO2. Основной вывод работы --- в состав СД должна входить не только кристаллическая, но и аморфная фаза SiO2 --- получен при согласовании размеров дефекта (из эксперимента) с теоретической оценкой, которую дает условие стабильности фазы коэсита при фиксированном несоответствии решеток матрицы и включения. Для одной из моделей удается достигнуть удовлетворительного совпадения с экспериментом.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.