Вышедшие номера
Кинетика поведения фоточувствительных примесей и дефектов в особо чистом полуизолирующем карбиде кремния
Савченко Д.В.1, Шанина Б.Д.1, Лукин С.Н.1, Калабухова Е.Н.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Email: katia@i.kiev.ua
Поступила в редакцию: 8 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2009 г.

Выполнено экспериментальное и теоретическое исследования кинетики поведения фоточувствительных примесей и дефектов в особо чистом полуизолирующем материале 4H-SiC методом электронного парамагнитного резонанса в присутствии фотовозбуждения и оптической спектроскопии полной проводимости. Решены кинетические уравнения, описывающие процессы рекомбинации, захвата и ионизации неравновесных носителей, динамически связанных с мелкими донорами и акцепторами (азота и бора), а также процессы передачи носителей зарядов с мелкого донора азота на глубокие уровни собственных дефектов. Сопоставление результатов расчета с экспериментальными кривыми временных спадов полной проводимости и интенсивностей сигналов электронного парамагнитного резонанса от азота и бора после прекращения фотовозбуждения показало, что вероятности захвата дырок на ионизированный акцептор и скорость ионизации нейтрального акцептора бора на два порядка больше, чем аналогичные процессы в системе донорных уровней. Для последней решающую роль играют каскадные переходы электронов с уровня на уровень в запрещенной зоне, а также электронно-дырочная рекомбинация. PACS: 72.20.Jv, 76.30.-v
  1. V.V. Konovalov, M.E. Zvanut, J. van Tol. Phys. Rev. B 68, 012 102 (2003)
  2. W.E. Carlos, E.R. Glaser, B.V. Shanabrook. Mat. Sci. Forum 457- 460, 457 (2004)
  3. N.T. Son, B. Magnusson, Z. Zolnai, A. Ellison, E. Janzen. Mat. Sci. Forum 457- 460, 437 (2004)
  4. N.T. Son, P. Carlsson, B. Magnusson, E. Janzen. Mat. Sci. Forum 556- 557, 465 (2007)
  5. E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, A. Saxler, W.C. Mitchel, S.R. Smith, J.S. Solomon, A.O. Evwaraye. Phys. Rev. B 64, 235 202 (2001)
  6. E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, W.C. Mitchel, A. Saxler, R.L. Jones. Physica B 308- 310, 698 (2001)
  7. E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savcenko, W.C. Mitchel, W.D. Mitchel. Mat. Sci. Forum 457- 460, 501 (2004)
  8. D.V. Savchenko, S.N. Lukin, E.N. Kalabukhova. Proc. VII Int. Yourth Scientific School "Actual problems of magnetic resonance and application". Kazan (2004). P. 84
  9. М.К. Шейнкман, А.Я. Шик. ФТП 10, 209 (1976)
  10. E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, A.A. Sitnikov, W.C. Mitchel, S.R. Smith, S. Greulich-Weber. Mat. Sci. Forum 527- 529, 563 (2006)
  11. P.J. Macfarlane, M.E. Zvanut. J. Vac. Technol. B 17, 1627 (1999)
  12. A.O. Evwaraye, S.R. Smith, W.C. Mitchel. J. Appl. Phys. 77, 4477 (1995)
  13. E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, W.C. Mitchel, S. Greulich-Weber, E. Rauls, U. Gerstmann. Mat. Sci. Forum 527- 529, 559 (2006)
  14. S. Greulich-Weber, F. Feege, E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, J.-M. Spaeth, F.J. Adrian. Semicond. Sci. Technol. 13, 59 (1998)
  15. Я.Е. Покровский, О.И. Смирнов, Н.А. Хвальковский. ЖЭТФ 112, 221 (1997)
  16. H.J. Queisser, D.E. Theodorou. Phys Rev. B 33, 4027 (1986)
  17. E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, W.C. Mitchel. Physica B 340- 342, 156 (2003)
  18. E. Sorman, W.M. Chen, N.T. Son, O. Kordina, J.L. Lindstrom, E. Janzen. Proc. 23rd Int. Conf. on the physics of semicond. Berlin (1996). P. 2665
  19. E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, W.C. Mitchel, S. Greulich-Weber, U. Gerstmann, A. Poppl, J. Hoentsch, E. Rauls, Yu. Rozentzveig, E.N. Mokhov, M. Syvajarvi, R. Yakimova. Mat. Sci. Forum 556- 557, 355 (2007)
  20. S. Greulich-Weber. Phys. Status Solidi A 162, 95 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.