Исследовалась структура вакансионно-дислокационного кластера (ВДК) приповерхностного нарушенного слоя монокристаллического кремния методом декорирования примесью бора. Получены значения коэффициента диффузии бора в различных областях ВДК, обусловленные наличием в нем избыточных вакансий. Экспериментально установлено, что вакансии в ВДК распределены по гауссову закону. Предложен механизм нелинейной диффузии в кремнии при низкой концентрации легирующей примеси.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.