Издателям
Вышедшие номера
Факторы, определяющие образование наноструктур боридных и нитридных пленок на основе переходных металлов
Игнатенко П.И.1
1Донецкий национальный университет, Донецк, Украина
Email: volya2@tcc-online.com
Поступила в редакцию: 15 декабря 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.

Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии определены основные факторы, ответственные за формирование столбчатых и слоистых наноструктур боридных и нитридных пленок на основе переходных металлов. Получено выражение, позволяющее прогнозировать характер наноструктуры напыляемых пленок по данным пересыщения, величины упругих напряжений соотношения свободных граничных энергий. Проведена оценка размеров нанокристаллитов в конкретных нитридных и боридных пленках на основе переходных металлов. Работа выполнена при поддержке МОН Украины (проект N 0103U003509). PACS: 68.55.Ln, 68.55.Nq, 79.20.Rf, 81.15.Jj
  • С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 35, 7, 1897 (1993)
  • С.А. Кукушкин. Поверхность 10, 36 (1984)
  • S.A. Kukuchkin. Thin Solid Films 207, 302 (1992)
  • С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ЖТФ 67, 10, 112 (1997)
  • А.А. Чернов. В кн.: Современная кристаллография. Наука, М. (1980). Т. 3. С. 7
  • Р.А. Андриевский. Успехи химии 66, 11, 57 (1997)
  • Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер, Д.В. Штанский. ФТТ 39, 10, 1859 (1997)
  • П.И. Игнатенко, А.А. Гончаров, Д.Н. Терпий, Н.А. Кляхина. Металлофизика и новейшие технологии 29, 1, 135 (2007)
  • А.А. Гончаров, В.В. Петулов, Д.Н. Терпий. Неорган. материалы 41, 7, 799 (2005)
  • А.А. Гончаров, П.И. Игнатенко, В.В. Петухов, В.А. Коновалов, Г.К. Волкова, В.А. Ступак, В.А. Глазунова. ЖТФ 76, 10, 87 (2006)
  • А.А. Гончаров, П.И. Игнатенко, В.А. Коновалов, В.А. Ступак, Г.К. Волкова. В.А. Глазунова, В.В. Петухов. ФММ 103, 1, 80 (2007)
  • Дж.П. Хирс, С.Дж. Хручка, Г.М. Паунд. В кн.: Монокристаллические пленки. Мир, М. (1966). С. 15
  • J.M. Lopez, F.J. Gordillo-Vazquez, O. Bohme, J.M. Albella. Apll. Surf. Sci. 173, 3-- 4, 280 (2001)
  • А.Н Тюменцев, Ю.П. Пинжин, А.Д. Коротаев, С.В. Овчинников. ФММ 83, 2, 109 (1997)
  • H.B. Nie, S.Y. Xu, S.J. Wang, L.P. You, Z. Yang, C.K. Ong, J. Li, T.Y.F. Liew. Appl. Phys. A 73, 229 (2001)
  • P. Le Clair, G.P. Berera, J.S. Moodera. Thin Solid Films 376, 9 (2000)
  • О.В. Соболь. Сб. докл. Междунар. конф. ОТТОМ-6. Харьков (2005). С. 209
  • О.В. Соболь. Сб. докл. Междунар. конф. ОТТОМ-7. Харьков (2006). С. 72
  • Д.В. Штанский, С.А. Кулинич, Е.А. Левашов, J.J. Moore. ФТТ 45, 6, 1122 (2003)
  • О.В. Соболь. ФТТ 49, 6, 1104 (2007)
  • П.И. Игнатенко. Физика высоких давлений 9, 4, 111 (1999)
  • В. Миссол. Поверхностная энергия раздела фаз в металлах. Металлургия, М. (1978). 176 с
  • A.V. Krajnikov, V.M. Yurchenko, E.P. Feldman, D.B. Williams. Surf. Sci., 515, 1, 36 (2002)
  • П.И. Игнатенко, Д.Н. Терпий. Поверхность 12, 102 (2004)
  • Дж. Кристиан. Теория превращений в металлах и сплавах. Мир, М. (1978). Т. 1. 806 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.