"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Теоретические основы релаксационной жидкостной эпитаксии с инверсией массопереноса
Сакало Т.В., Кукушкин С.А.
Выставление онлайн: 19 июня 1990 г.

Изложены теоретические основы релаксационной жидкостной эпитаксии с инверсией массопереноса, позволяющей выращивать сплошные супертонкие слои AC на подложке ABC при неограниченном времени контакта раствора-расплава A-C с подложкой ABC. Основная идея заключается в использовании для описания эволюции системы островков AC на подложке ABC уравнения Фоккер-Планка для функции распределения островков по размерам. Построена модель процесса в приближении однокомпонентного расплава и получена полная система уравнений, описывающая процесс. Путем численного решения этой системы уравнений найдены функции распределения островков по размерам, зависимости степени заполнения основной подложки, скорости роста и толщины пленки от времени. Получены зависимости времени образования и толщины первичного сплошного слоя от величины начального переохлаждения раствора-расплава и угла смачивания основной подложки осаждаемым веществом. Предлагаемый метод описания эволюции системы островков хорошо согласуется с экспериментом и может быть использован в широком классе задач.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.