Издателям
Вышедшие номера
Рентгеновская дифрактометрия и электронная микроскопия слоев пористого Si на разных стадиях окисления на воздухе
Ратников В.В.1, Сорокин Л.М.1, Соколов В.И.1, Калмыков А.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ratnikov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 13 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2009 г.

Методами рентгеновской многокристальной дифрактометрии и просвечивающей электронной микроскопии проведено систематическое исследование полученных в различных режимах анодного травления слоев пористого кремния при их естественном окислении (старении) на воздухе. Использовалась комбинация измерений на двух- и трехкристальном дифрактометрах симметричных 004 и асимметричных 224 отражений в геометрии Брэгга для получения количественной информации о деформациях и кристаллической решетке слоев. Найдено, что старение пористого кремния характеризуется ростом как макро- и микродеформаций, так и микроразориентацией кристаллических фрагментов, приводящим к постепенному разрушению пористых слоев вплоть до их полной аморфизации. Работа выполнена при поддержке Программы ОФН РАН "Физика новых материалов и структур" и Программы Президиума РАН "Квантовая физика конденсированных сред". PACS: 61.05.C-, 61.43.Gt
  • A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys. 82, 909 (1997)
  • Y.-S. Kim, E.C. Zouzounis, Y.-H. Xie. Appl. Phys. Lett. 80, 2287 (2002)
  • В.В. Ратников. ФТТ 39, 956 (1997)
  • G.A. Rozgonyi, T.J. Ciesielka. Rev. Sci. Instrum. 44, 1053 (1973)
  • В.В. Ратников, Р.Н. Кютт, Г.Н. Мосина, М.П. Щеглов. ФТТ 41, 30 (1999)
  • M.I.J. Beale, N.G. Chew, M.J. Uren, A.G. Cullis, J.D. Benjamin. Appl. Phys. Lett. 46, 86 (1985)
  • G.G. Stoney. Proc. Roy. Soc. London A 82, 172 (1909)
  • Д.К. Боуэн, Б.К. Таннер. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография. Наука, СПб (2002). 274 с
  • W.J. Bartels, W. Nijman. J. Cryst. Growth 44, 518 (1978)
  • T. Unagami. J. Electrochem. Soc. 144, 1835 (1997)
  • M. Ohring. The materials science of thin films. Academic, San Diego (1991). 378 p
  • K. Barla, R. Herino, G. Bomchil, J.C. Pfister. J. Cryst. Growth 68, 727 (1984)
  • D. Buttard, D. Bellet, G. Dolino. J. Appl. Phys. 79, 8060 (1996)
  • F. Kozlowski, W. Lang. J. Appl. Phys. 72, 5401 (1992)
  • A. Halimaoui, Y. Campidelli, A. Larre, D. Bensahel. Phys. Status Solidi B 190, 35 (1995)
  • H. Noerenberg, G.A. Briggs. Suf. Sci. 430, 154 (1999).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.