Экспериментально исследовано изменение структуры приповерхностной области монокристаллов кремния, облученных миллисекундным импульсом рубинового лазера, работающего в режиме свободной генерации. Измерения проводились с помощью двух- и трехкристальных рентгеновских дифрактометров. При импульсной лазерной обработке могут наблюдаться как генерация, так и отжиг дефектов. Рассмотрена зависимость дефектности структуры от энергии и количества импульсов. Зарегистрированы деформация решетки и дефекты типа микротрещин, кластеров и дислокационных петель.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.