Издателям
Вышедшие номера
Электрическое сопротивление и 1/f-флуктуации в тонких пленках титана
Геращенко О.В.1, Матвеев В.А.1, Плешанов Н.К.1, Байрамуков В.Ю.1
1Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Россия
Email: gerashch@pnpi.spb.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Определена толщина металлического слоя, исследованы электрическое удельное сопротивление и спектральная плотность флуктуаций напряжения в тонких пленках титана с исходной толщиной 5-100 nm, полученных магнетронным напылением и предназначенных для перспективных элементов нейтронной оптики. Обнаружено, что в даже в самых тонких образцах сохраняется необходимый для функционирования сплошной металлический слой, при этом наблюдаются избыточные флуктуации его сопротивления со спектром 1/f-типа. Показано, что метод измерения электрического сопротивления пленки можно использовать как эффективный экспресс-метод определения толщин металлических нанослоев. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований гранты N 12-02-12066-офи-м и N 12-02-31625 мол а.
  • N.K. Pleshanov. Nucl. Instrum. Methods A 613, 15 (2010)
  • N.K. Pleshanov, A.P. Bulkin, V.G. Syromyatnikov. Nucl. Instrum. Methods A 634, 63 (2011)
  • V.A. Matveev, N.K. Pleshanov, A.P. Bulkin. J. Phys.: Conf. Ser. 340, 012 086 (2012)
  • F.N. Hooge. Phys. Lett. A 29, 139 (1969)
  • F.N. Hooge, T.G.M. Kleinpenning, L.K.J. Vandamme. Rep. Prog. Phys. 44, 479 (1981)
  • Г.Н. Бочков, Ю.Е. Кузовлев. УФН 141, 151 (1983)
  • Ш.М. Коган. УФН 145, 285 (1985)
  • F.N. Hooge. Physica B 162, 344 (1990)
  • Sh. Kogan. Electronic noise and fluctuations in solids. Cambridge University Press, Cambridge (1996). 354 p
  • Г.П. Жигальский. УФН 173, 465 (2003)
  • В.Б. Лазарев, В.В. Соболев, И.С. Шаплыгин. Химические и физические свойства простых оксидов металлов. Наука, М. (1983). 239 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.