"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Структурно-фазовые превращения в многослойной пленочной системе C/Si при отжиге
Журавель И.А.1, Бугаев Е.А.1, Конотопский Л.Е.1, Севрюкова В.А.1, Зубарев Е.Н.1, Кондратенко В.В.1
1Харьковский политехнический институт, Харьков, Украина
Email: igor_zhuravel@mail.ru
Поступила в редакцию: 19 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.

Методами малоугловой рентгеновской дифракции и просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов изучена эволюция структуры многослойных периодических композиций C/Si. На межслоевых границах C/Si и Si/C в исходном состоянии обнаружены перемешанные зоны различной плотности толщиной 0.6-0.65 nm. Исследовано влияние отжига на толщину, плотность и фазовый состав слоев и перемешанных зон в диапазоне температур 300-1050oC. Установлены две стадии изменения периода многослойной композиции при нагреве. При температурах до 700oC происходит увеличение периода, при дальнейшем нагреве период уменьшается. Разрушение композиции начинается со слоев кремния, в которых формируются поры и нанокристаллы кубического 3C-SiC при 900oC. Полное разрушение слоистой структуры композиции происходит при T>1000oC.
  • Spiller E. Soft X-ray Optics. Washington: SPIE Optical Engineering Press, 1994. 278 p
  • Brian W.J. McNeil, Neil R. Thompson // Nature Photonics. 2010. Vol. 4. P. 814--821
  • Popmintchev T., Chen M.-C., Arpin P., Murnane M.M., Kapteyn H.C. // Nature Photonics. 2010. Vol. 4. P. 822--832
  • Urbanski L., Marconi M.C., Meng L.M., Berrill M., Guilbaud O., Klisnick A., Rocca J.J. // Phys. Rev. 2012. Vol. 85. P. 033 837 (1--6)
  • Pershyn Y.P., Zubarev E.N., Voronov D.L., Sevryukova V.A., Kondratenko V.V., Vaschenko G., Grisham M., Menoni C.S., Rocca J.J., Artioukov I.A., Uspenskii Y.A., Vinogradov A.V. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. Vol. 42. P. 125 407 (1--11)
  • Modi M.H., Rai S.K., Idir M., Schaefers F., Lodha G.S. // Opt. Express. 2012. Vol. 20. N 14. P. 15 114--12 120
  • Louis E., Yakshin A.E., Tsarfati T., Bijkerk F. // Progr. Surf. Sci. 2011. Vol. 86. P. 255--294
  • Бейгман И.Л., Боженков С.А., Житник И.А., Кузин С.В., Толстихина И.Ю., Урнов А.М. // Письма в астроном. журн. 2005. Т. 31. N 1. C. 39--58
  • Шестов С.В., Боженков С.А., Житник И.А., Кузин С.В., Урнов А.М., Бейгман И.Л., Горяев Ф.Ф., Толстихина И.Ю. // Письма в астроном. журн. 2008. Т. 34. N 1. C. 38--57
  • Berghmansa D., Hochedeza J.F., Defiseb J.M., Lecatb J.H., Niculaa B., Slemzine V., Lawrencea G., Katsyiannisa A.C., Van der Lindena R., Zhukova A., Clettea F., Rochusb P., Mazyb E., Thibertb T., Nicolosic P., Pelizzoc M-G., Schuhled. U. // Advan. Spac. Res. 2006. Vol. 38. N 8. P. 1807--1811
  • Frassetto F., Garoli D., Monaco G., Nicolosi P., Pascolini M., Pelizzo M.G., Mattarello V., Patelli A., Rigato V., Giglia A., Nannarone S., Antonucci E., Fineschi S., Romoli M. // Proc. SPIE. 2005. Vol. 5901. P. 59010L1--59010L12
  • Windt D.L., Donguy S., Seely J., Kjornrattanawanich B. // Appl. Opt. 2004. Vol. 43. N 9. P. 1835--1848
  • Zhu J., Wang Z., Zhang Z., Wang F., Wang H., Wu W., Zhang S., Xu D., Chen L., Zhou H., Huo T., Cui M., Zhao Y. // Appl. Opt. 2008. Vol. 47. N 13. P. 310--314
  • Penkov O.V., Bugayev Ye.A., Zhuravel I., Kondratenko V.V., Amanov A., Kim D.-E. // Tribol. Lett. 2012. Vol. 48. P. 123--131
  • Woo Y., Kim S.-H. // J. Mechanic. Sci. Technol. 2011. Vol. 25. P. 1017-1022
  • Sung I.-H., Kim D.-E. // Tribol. Lett. 2004. Vol. 17. N 4. P. 835--844
  • Riviere J.P., Zaytouni M., Denanot M.F., Allain J. et al. // Mater. Sci. Engineer. B. 1995. Vol. 29. N 1--3. P. 105--109
  • Chung C.K., Lai C.W., Peng C.C., Wu B.H. // Th. Sol. Film 2008. Vol. 517. N 3. P. 1101--1105
  • Chung C.K., Chen T.Y., Lai C.W. // J. Nanoparticle Research. 2011. Vol. 13. N 10. P. 4821--4828
  • Attwood D.T., Henke B.L. // Low energy X-ray diagnostics. AIP Conf. Proceedings. 1981. Vol. 75. P. 280--285
  • Barbee T.W. // Opt. Engineering. 1986. Vol. 25. P. 899--915
  • Jackson J.D. Classical electrodynamics, 2nd edn. N Y: John Wiley and Sons, 1975. 880 p
  • Grigonis M., Knystautas E.J. // Appl. Opt. 1997. Vol. 36. N 13. P. 2839--2842.
  • Hansen M., Anderko K. Constitution of binary alloys. N Y: McGraw-Hill, 1991. 1305 p
  • Зубарев Е.Н. // УФН. 2011. Т. 181. N 5. С. 491--520
  • Девизенко А.Ю., Бугаев Е.А., Кондратенко В.В., Зубарев Е.Н., Воронов Д.Л., Копылец И.А. // Сб. тр. Харьковской нанотехнологической Ассамблеи. Харьков, 2006. Т. 2. С. 100--105
  • Chung C.K., Wu B.H. // Th. Sol. Film. 2006. Vol. 515. P. 1985-1991.
  • Voronov D.L., Zubarev E.N., Kondratenko V.V., Pershin Yu.P., Sevryukova V.A., Bugayev Ye.A. // Th. Sol. Film. 2006. Vol. 513. N 1--2. P. 152--158
  • Graul J., Wagner E. // Appl. Phys. Lett. 1972. Vol. 27. N 2. P. 67--69
  • Кондратенко В.В. // Функциональные материалы. 1997. Т. 4. N 4. С. 481--486
  • Бугаев Е.А., Зубарев Е.Н., Кондратенко В.В., Федоренко А.И. // Национальная конф. по применению рентгеновского и синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. Дубна, 1997. Т. 2. С. 268--274
  • Charai A., Boulesteix C. // Phys. Stat. Sol. A. 1983. Vol. 80. N 4. P. 333--341
  • Scholz R., Gosele U., Niemann E., Wischmeyer F. // Appl. Phys. A. 1997. Vol. 64. P. 115--125
  • Jinschek J., Kaiser U., Richter W. // J. Electr. Microscopy. 2001. Vol. 50. N 1. P. 3--8
  • Kim K.C., Park C.I., Roh J.I., Nahm K.S., Seo Y.H. // J. Vacuum Sci. Technol. A. 2001. Vol. 19. P. 2636--2642
  • Chung C.K., Chen T.Y., Lai C.W. // Scripta Materialia. 2011. Vol. 65. P. 432--435.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.