Методами малоугловой рентгеновской дифракции и просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов изучена эволюция структуры многослойных периодических композиций C/Si. На межслоевых границах C/Si и Si/C в исходном состоянии обнаружены перемешанные зоны различной плотности толщиной 0.6-0.65 nm. Исследовано влияние отжига на толщину, плотность и фазовый состав слоев и перемешанных зон в диапазоне температур 300-1050oC. Установлены две стадии изменения периода многослойной композиции при нагреве. При температурах до 700oC происходит увеличение периода, при дальнейшем нагреве период уменьшается. Разрушение композиции начинается со слоев кремния, в которых формируются поры и нанокристаллы кубического 3C-SiC при 900oC. Полное разрушение слоистой структуры композиции происходит при T>1000oC.
Spiller E. Soft X-ray Optics. Washington: SPIE Optical Engineering Press, 1994. 278 p
Brian W.J. McNeil, Neil R. Thompson // Nature Photonics. 2010. Vol. 4. P. 814--821
Popmintchev T., Chen M.-C., Arpin P., Murnane M.M., Kapteyn H.C. // Nature Photonics. 2010. Vol. 4. P. 822--832
Urbanski L., Marconi M.C., Meng L.M., Berrill M., Guilbaud O., Klisnick A., Rocca J.J. // Phys. Rev. 2012. Vol. 85. P. 033 837 (1--6)
Pershyn Y.P., Zubarev E.N., Voronov D.L., Sevryukova V.A., Kondratenko V.V., Vaschenko G., Grisham M., Menoni C.S., Rocca J.J., Artioukov I.A., Uspenskii Y.A., Vinogradov A.V. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. Vol. 42. P. 125 407 (1--11)
Modi M.H., Rai S.K., Idir M., Schaefers F., Lodha G.S. // Opt. Express. 2012. Vol. 20. N 14. P. 15 114--12 120
Louis E., Yakshin A.E., Tsarfati T., Bijkerk F. // Progr. Surf. Sci. 2011. Vol. 86. P. 255--294
Бейгман И.Л., Боженков С.А., Житник И.А., Кузин С.В., Толстихина И.Ю., Урнов А.М. // Письма в астроном. журн. 2005. Т. 31. N 1. C. 39--58
Шестов С.В., Боженков С.А., Житник И.А., Кузин С.В., Урнов А.М., Бейгман И.Л., Горяев Ф.Ф., Толстихина И.Ю. // Письма в астроном. журн. 2008. Т. 34. N 1. C. 38--57
Berghmansa D., Hochedeza J.F., Defiseb J.M., Lecatb J.H., Niculaa B., Slemzine V., Lawrencea G., Katsyiannisa A.C., Van der Lindena R., Zhukova A., Clettea F., Rochusb P., Mazyb E., Thibertb T., Nicolosic P., Pelizzoc M-G., Schuhled. U. // Advan. Spac. Res. 2006. Vol. 38. N 8. P. 1807--1811
Frassetto F., Garoli D., Monaco G., Nicolosi P., Pascolini M., Pelizzo M.G., Mattarello V., Patelli A., Rigato V., Giglia A., Nannarone S., Antonucci E., Fineschi S., Romoli M. // Proc. SPIE. 2005. Vol. 5901. P. 59010L1--59010L12
Windt D.L., Donguy S., Seely J., Kjornrattanawanich B. // Appl. Opt. 2004. Vol. 43. N 9. P. 1835--1848
Zhu J., Wang Z., Zhang Z., Wang F., Wang H., Wu W., Zhang S., Xu D., Chen L., Zhou H., Huo T., Cui M., Zhao Y. // Appl. Opt. 2008. Vol. 47. N 13. P. 310--314
Penkov O.V., Bugayev Ye.A., Zhuravel I., Kondratenko V.V., Amanov A., Kim D.-E. // Tribol. Lett. 2012. Vol. 48. P. 123--131
Woo Y., Kim S.-H. // J. Mechanic. Sci. Technol. 2011. Vol. 25. P. 1017-1022
Sung I.-H., Kim D.-E. // Tribol. Lett. 2004. Vol. 17. N 4. P. 835--844
Riviere J.P., Zaytouni M., Denanot M.F., Allain J. et al. // Mater. Sci. Engineer. B. 1995. Vol. 29. N 1--3. P. 105--109
Chung C.K., Lai C.W., Peng C.C., Wu B.H. // Th. Sol. Film 2008. Vol. 517. N 3. P. 1101--1105
Chung C.K., Chen T.Y., Lai C.W. // J. Nanoparticle Research. 2011. Vol. 13. N 10. P. 4821--4828
Attwood D.T., Henke B.L. // Low energy X-ray diagnostics. AIP Conf. Proceedings. 1981. Vol. 75. P. 280--285
Barbee T.W. // Opt. Engineering. 1986. Vol. 25. P. 899--915
Jackson J.D. Classical electrodynamics, 2nd edn. N Y: John Wiley and Sons, 1975. 880 p
Grigonis M., Knystautas E.J. // Appl. Opt. 1997. Vol. 36. N 13. P. 2839--2842.
Hansen M., Anderko K. Constitution of binary alloys. N Y: McGraw-Hill, 1991. 1305 p
Зубарев Е.Н. // УФН. 2011. Т. 181. N 5. С. 491--520
Девизенко А.Ю., Бугаев Е.А., Кондратенко В.В., Зубарев Е.Н., Воронов Д.Л., Копылец И.А. // Сб. тр. Харьковской нанотехнологической Ассамблеи. Харьков, 2006. Т. 2. С. 100--105
Chung C.K., Wu B.H. // Th. Sol. Film. 2006. Vol. 515. P. 1985-1991.
Voronov D.L., Zubarev E.N., Kondratenko V.V., Pershin Yu.P., Sevryukova V.A., Bugayev Ye.A. // Th. Sol. Film. 2006. Vol. 513. N 1--2. P. 152--158
Graul J., Wagner E. // Appl. Phys. Lett. 1972. Vol. 27. N 2. P. 67--69
Кондратенко В.В. // Функциональные материалы. 1997. Т. 4. N 4. С. 481--486
Бугаев Е.А., Зубарев Е.Н., Кондратенко В.В., Федоренко А.И. // Национальная конф. по применению рентгеновского и синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. Дубна, 1997. Т. 2. С. 268--274
Charai A., Boulesteix C. // Phys. Stat. Sol. A. 1983. Vol. 80. N 4. P. 333--341
Scholz R., Gosele U., Niemann E., Wischmeyer F. // Appl. Phys. A. 1997. Vol. 64. P. 115--125
Jinschek J., Kaiser U., Richter W. // J. Electr. Microscopy. 2001. Vol. 50. N 1. P. 3--8
Kim K.C., Park C.I., Roh J.I., Nahm K.S., Seo Y.H. // J. Vacuum Sci. Technol. A. 2001. Vol. 19. P. 2636--2642
Chung C.K., Chen T.Y., Lai C.W. // Scripta Materialia. 2011. Vol. 65. P. 432--435.