Разработан и реализован алгоритм, позволяющий на основании однозонных эллипсометрических измерений в процессе роста тонких полупроводниковых пленок решать обратную задачу эллипсометрии с целью определения показателя поглощения. Методика основана на анализе изменения эллипсометрических параметров Psi и Delta непосредственно в процессе роста. Апробация алгоритма проведена в процессе синтеза структур Si/SiO2/Si(100) и Hg1-xCdxTe.
Асеев А.Л. // Российские нанотехнологии. 2006. Т. 1. N 1.2. C. 97
Varnakov S.N., Komogortsev S.V., Ovchinnikov S.G. et al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 094 703
Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с
Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry. Principles and Application. Wiley, 2007. 369 p
Aspenes D.E. // Thin. Sol. Films. 1993. Vol. 233. P. 1--8
Сухорукова М.В., Скороходова И.А., Хвостиков В.П. // ФТП. 2000. Т. 34. Вып. 1. С. 57
Ястребов С.Г., Гордеев С.К., Гаррига М. и др. // ФТП. 2006. Т. 40. Вып. 7. С. 850
Швец В.А., Михайлов Н.Н., Дворецкий С.А. // Автометрия. 2011. Т. 47. N 5. С. 13--24
Duncan W.M., Henck S.A., Kuehne J.W. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1994. Vol. 12. N 4. P. 2779
Варнаков С.Н., Комогорцев С.В., Bartolome J. и др. // Физика металлов и металловедение. 2008. Т. 106. N 1. С. 54--58
Shvets V.A., Chikichev S.I., Pridachin D.N. et al. // Thin Sol. Films. 1998. Vol. 313--314. P. 561--564
Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В. // Опт. и спектр. 2004. Т. 97. N 3. С. 514--525
Швец В.А., Дворецкий С.А., Михайлов Н.Н. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 11. С. 41--44
Volkov N.V., Tarasov A.S., Eremin E.V. et al. // J. Appl. Phys. 2011. Vol. 109. P. 123 924
Варнаков С.Н., Лепешев А.А., Овчинников С.Г. и др. // ПТЭ. 2004. N 6. С. 125--129
Пат. РФ N 2302623. Эллипсометр. / Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, В.А. Швец. 2007. Бюл. N 19
Aspnes D.E., Studna A.A. // Phys. Rev. B. 1983. Vol. 27. N 2. P. 985--1010
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.