"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Изменение структуры пленок аморфного гидрогенизированного кремния и концентрации водорода в них при фемтосекундной лазерной кристаллизации
Емельянов А.В.1, Казанский А.Г.1, Кашкаров П.К.1, Коньков О.И.1, Кутузов Н.П.1, Лясковский В.Л.1, Форш П.А.1, Хенкин М.В.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург ВНИИ оптико-физических измерений (ВНИИОФИ), Москва
Email: av.emelyanov@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 3 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 января 2014 г.

Исследованы спектры рамановского рассеяния пленок аморфного гидрогенизированного кремния, подвергнутых фемтосекундному лазерному облучению. Плотность энергии лазерных импульсов именялась от 30 до 155 mJ/cm2. Впервые получено распределение объемной доли кристаллической фазы по поверхности исследованных пленок и установлена корреляция между изменением объемной доли кристаллической фазы и изменением концентрации водорода в пленках аморфного гидрогенизированного кремния при их кристаллизации фемтосекундным лазерным излучением.
  • Guha S., Yang J., Williaamson D.L. et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74. P. 1860--1862
  • Ahn J.Y., Jun K.H., Lim K.S., Konagai M. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. P. 1718--1720
  • Казанский А.Г., Теруков Е.И., Фoрш П.А., Kleider J.P. // ФТП. 2010. Т. 44. С. 513--516
  • Казанский А.Г., Мелл Х., Теруков Е.И., Форш П.А. // ФТП. 2002. Т. 36. С. 41--44
  • Wronski C.R., Collins R.W. // Solar Energy. 2004. V. 77. P. 877--885
  • Adikaari A.A.D.T., Mudugamuwa N.K., Silva S.R.P. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2008. V. 92. P. 634--638
  • Хенкин М.В., Емельянов А.В., Казанский А.Г. и др. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 9. С. 1283--1287
  • Adikaari A.A.D.T., Silva S.R.P. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. P. 114 305 (1--7)
  • Chen S., Hsieh I.C. // Sol. St. Technol. 1996. V. 1. P. 113
  • Sundaram S.K., Mazur E. // Nature Materials. 2002. V. 1. P. 217--224
  • Saeta P., Wang J.-K., Siegal Y. et al. // Phys. Rev. Let. 1991. V. 67. P. 1023--1026
  • Emelyanov A.V., Kazanskii A.G., Khenkin M.V. et al. // Appl. Phys. Lett. 2012. V. 101. P. 081 902 (1--3)
  • Емельянов А.В., Константинова Е.А., Форш П.А. и др. // Письма в ЖЭТФ. 2013. Т. 97. В. 8. С. 536--540
  • Емельянов А.В., Казанский А.Г., Кашкаров П.К. и др. // ФТП. 2012. Т. 46. С. 769--774
  • Brodsky M.H., Cardona M., Cuomo J.J. // Phys. Rev. B. 1977. V. 16. P. 3556--3571
  • Gontag F., Vonde J.C., Filonovich S. et al. // Thin Solid Films. 2013. V. 536. P. 147--151
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.