"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование процесса формирования углеродной наноразмерной автоэмиссионной структуры с ионной защитой
Абаньшин Н.П.1,2,3, Горфинкель Б.И.1,2,3, Морев С.П.1,2,3, Мосияш Д.С.1,2,3, Якунин А.Н.1,2,3
1OOO "Волга-Свет", Саратов
2НПП "Торий", Москва
3Институт проблем точной механики и управления РАН, Саратов
Email: anyakunin@mail.ru
Поступила в редакцию: 9 января 2014 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.

Приведены результаты теоретического и экспериментального исследования критичности технологического процесса формирования наноразмерных лезвий из alpha-углерода планарных автоэмиссионных структур с ионной защитой. Показано, что разработанная технология обеспечивает надежность управления процессом. Обнаружена слабая зависимость уровня напряженности в области острия эмиттера структуры от длины "козырька" лезвия, что способствует хорошей воспроизводимости ее параметров.
  • Одиноков В., Павлов Г., Шешин Е. // Наноиндустрия. 2010. N 5. С. 14
  • Рахимов А.Т. // УФН. 2000. Т. 170. N 9. С. 996
  • Milne W.I., Teo K.B.K., Minoux E. et al. // J. Vacuum Science \& Technology. B. 2006. V. 24. Iss. 1. P. 345
  • Lei W., Zhang X., Chen J., Zhao Z., Cui Y., Wang B. // IEEE Transactions on Electron. Devices. 2011. V. 58. Iss. 10. P. 3616
  • Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И., Якунин А.Н. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. В. 7. С. 94
  • Морев С.П., Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И., Дармаев А.Н., Комаров Д.А., Макеев А.Э., Якунин А.Н. // Радиотехника и электроника. 2013. Т. 58. N 4. С. 399
  • Whaley D., Guggal R., Armstrong C., Holland C., Spindt C., Thibert D. // IEEE 14th International Conference on Vacuum Electronics (IVEC). Paris, 2013. P. 1. doi: 10.1109/IVEC.2013.6571009
  • Петрин А.Б. // ЖЭТФ. 2009. Т. 136. N 2. С. 369
  • Васильева Е.А., Клещ В.И., Образцов А.Н. // ЖТФ. 2012. Т. 82. В. 7. С. 107
  • Calderon-Colon X., Geng H., Gao B., An L., Cao G., Zhou O. // Nanotechnology. 2009. V. 20. P. 325 707. doi: 10.1088/0957-4484/20/32/325707
  • Sanborn G., Turano S., Collins P., Ready W.J. // Appl. Phys. A. 2013. V. 110. Iss. 1. P. 99
  • Zanin H., May P.W., Hamanaka M.H.M.O., Corat E.J. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2013. V. 5. Iss. 23. P. 1223
  • Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И., Якунин А.Н. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 20. С. 52
  • Акчурин Г.Г., Якунин А.Н., Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И., Акчурин Г.Г., мл. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 12. С. 8
  • Гуляев Ю.В., Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И., Морев С.П., Резчиков А.Ф., Синицын Н.И., Якунин А.Н. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 11. С. 63
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.