Вышедшие номера
Образование краевых дислокаций несоответствия в пленках GexSi1-x (x~ 0.4-0.5), выращенных на отклоненных подложках Si(001)->(111)
Болховитянов Ю.Б.1, Гутаковский А.К.1, Дерябин А.С.1, Соколов Л.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: bolkhov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 6 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2008 г.

Изучена дислокационная структура пленок GexSi1-x (x~0.4-0.5), выращенных методом молекулярной эпитаксии на подложках Si(001), отклоненных на 6o вокруг оси < 011>. Показано, что в направлении отклонения краевые дислокации несоответствия (ДН) возникают только в виде коротких отрезков на пересечениях 60o ДН. Как следствие, суммарная длина краевых ДН в направлении отклонения подложки становится меньше, чем в направлении оси отклонения. Отклонение подложки от сингулярной грани позволило обнаружить дислокационную конфигурацию, состоящую из короткого отрезка краевой ДН и расходящихся от него в направлении отклонения двух 60o ДН. Предполагается, что образование отрезка начинается с одновременного зарождения комплементарных дислокационных полупетель, образующих на границе раздела короткую краевую ДН и затем распространяющихся в одну сторону в виде двух расходящихся лучей 60o ДН. PACS: 61.72.Lk, 81.05.Cy, 81.15.-z
  1. D.C. Houghton, D.D. Perovic, J.-M. Baribeau, G.G. Weatherty. J. Appl. Phys. 67, 1850 (1990)
  2. E.A. Fitzgerald, D.G. Ast. Appl. Phys. 63, 693 (1988)
  3. V.Yu. Karasev, N.A. Kiselev, E.V. Orlova, M.A. Gribelyuk, A.K. Gutakovsky, Yu.O. Kanter, S.M. Pintus, S.V. Rubanov, S.I. Stenin, A.A. Fedorov. Ultramicroscopy 35, 11 (1991)
  4. V.I. Vdovin. J. Cryst. Growth 172, 58 (1997)
  5. E.P. Kvam, D.M. Maher, C.J. Humpreys. J. Mater. Res. 5, 1900 (1990)
  6. T.J. Gosling. J. Appl. Phys. 74, 5415 (1993)
  7. R. Hull, J.C. Bean, D.J. Werder, R.E. Leibenguth. Phys. Rev. B 40, 1681 (1989)
  8. D.C. Houghton. J. Appl. Phys. 70, 2136 (1991)
  9. C.G. Tuppen, C.J. Gibbins. J. Appl. Phys. 68, 1526 (1990)
  10. F.K. LeGoues. Phys. Rev. Lett. 72, 876 (1994)
  11. Yu.B. Bolkhovityanov, A.K. Gutakovskii, V.I. Mashanov, O.P. Pchelyakov, M.A. Revenko, L.V. Sokolov. J. Appl. Phys. 91, 4710 (2002)
  12. Ю.Б. Болховитянов, А.С. Дерябин, А.К. Гутаковский, А.В. Колесников, Л.В. Соколов. ФТП 41, 1251 (2007)
  13. J.W. Matthews, A.E. Blakeslee. J. Cryst. Growth 27, 118 (1974)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.