Дж. Мейер, Л. Эриксон, Дж. Дэвис. Ионное легирование полупроводников / Под ред. В.М. Гусева. Мир, М. (1973). 296 с
F. Conella, P. Mazzoldi. Handbook of nanostructured materials and nanotechnology / Ed. H.S. Nalwa. Academic Press, San Diego (2000). P. 81
Д.А. Зацепин, С.О. Чолах. Физические основы технологий микро- и наноэлектроники / Под ред. Э.З. Курмаева, ГОУ ВПО УГТУ--УПИ, Екатеринбург (2006). 235 с
Д.А. Зацепин, Э.З. Курмаев, И.Р. Шеин, В.М. Черкашенко, С.Н. Шамин, С.О. Чолах. ФТТ 49, 72 (2007)
Э.З. Курмаев, Д.А. Зацепин, С.О. Чолах, B. Schmidt, Y. Harada, T. Tokushima, H. Osawa, S. Shin, T. Takeuchi. ФТТ 47, 728 (2005)
V. Ivanov, S. Paranin, V. Khrustov, Yu. Kotov, S. Ivin, A. Nikonov, A. Medvedev, A. Shtolz. Proc. of the 10th Int. ceramics congress. Florence, Italy (2002). Pt B. P. 417
N.V. Gavrilov, G.A. Mesyats, S.P. Nikulin, G.V. Radkovskii, A. Elkind, A.J. Perry, J.R. Treglio. J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1050 (1996)
J.J. Jia, T.A. Callcot, J. Yurkas, A.W. Ellis, F.J. Himpsel, M.J. Samant, J. Staehr, D.L. Ederer, J.A. Carlisle, E.A. Hudson, L.J. Terminello, D.K. Shuh, R.C.C. Perera. Rev. Sci. Instrum. 66, 1394 (1995)
H.V. Skinner, T.G. Bullen, J. Jonston. Phil. Mag. 45, 1070 (1954)
В.И. Гребенников, В.Р. Галахов, Л.Д. Финкельштейн, Н.А. Овечкина, Э.З. Курмаев. ФТТ 45, 1002 (2003)
O. Cintora-Gonzales, D. Muller, C. Estournes, M. Richard-Ploet, R. Poinsot, J.J. Grob, J. Guille. Nucl. Inst. Meth. B 178, 144 (2001)
В.Б. Сулимов, В.О. Соколов, Е.М. Дианов, Б. Пумелек. Квантовая электрон, 26, 988 (1996)
Е.М. Дианов, С.В. Лаврищев, В.М. Марченко, В.М. Машинский, А.М. Прохоров. Квантовая электрон. 23, 1105 (1996)
В.Н. Луцкий, Т.Н. Пинскер. Размерное квантование. Знание, М. (1983). 150 с