Издателям
Вышедшие номера
Эффект больших доз в рентгеновских Si L2,3-эмиссионных спектрах при имплантации кремния ионами железа в стационарном режиме
Зацепин Д.А.1, Курмаев Э.З.1, Шеин И.Р.2, Черкашенко В.М.1, Шамин С.Н.1, Чолах С.О.3
1Институт физики металлов Уральского отделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия
2Институт химии твердого тела Уральского oтделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия
3Уральский государственный технический университет, Екатеринбург, Россия
Email: d_zatsepin@ifmlrs.uran.ru
Поступила в редакцию: 7 апреля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2006 г.

Методом рентгеновской Si L2,3-эмиссионной спектроскопии (электронный переход 3d3s-> 2p) исследован эффект больших доз (ЭБД) в образцах кремния с проводимостью p- и n-типа, имплантированных ионами Fe+ в стационарном сканирующем режиме (энергия имплантации 100 keV, плотность ионного тока 0.6-0.8 muA/cm2, дозы облучения от 1014 до 1016 ions/cm2). Выполнен анализ Si L-спектров посредством их сравнения со спектрами эталонов, проведено сопоставление с рентгеновскими спектральными данными по импульсной имплантации ионами Fe+, а также их моделирование методом молекулярной динамики и полнопотенциальным методом присоединенных плоских волн (FLAPW). В результате установлены особенности проявления ЭБД при стационарном режиме внедрения ионов Fe+ в полупроводниковую кристаллическую матрицу, которые заключаются в более сильном разупорядочении структуры и частичной аморфизации образца от поверхности в объем по сравнению с импульсным ионным воздействием, однако рекристаллизация образца при достижении пороговой дозы облучения практически отсутствует. Обсуждаются наиболее вероятные причины и механизмы такого проявления ЭБД в исследованных образцах. Работа выполнена при поддержке проектов РФФИ (гранты N 05-02-16438 и 05-02-16448), гранта Минобразования --- CRDF: Annex BF4M05, EK-005-X2 [REC-005], BRHE 2004 post-doctoral fellowship award Y2-EP-05-11, а также Совета по грантам Президента РФ для ведущих научных школ (грант НШ-4192.2006.2). PACS: 71.20.Nr, 71.20.-b
  • F. Conella, P. Mazzoldi. Handbook on Nanostructured Materials and Nanotechnology / Ed. H.S. Nalwa. Academic Press, San Diego (2000). P. 81
  • Э.З. Курмаев, Д.А. Зацепин, С.О. Чолах, B. Schmidt, Y. Harada, T. Tokushima, H. Osawa, S. Shin, T. Takeuchi. ФТТ 47, 728 (2005)
  • C.В. Горбунов, Д.А. Зацепин, Э.З. Курмаев, Б. Шмидт, С.О. Чолах. Тез. XVII Рос. науч.-техн. конф. Изд-во УГТУ--УПИ, Екатеринбург (2005). С. 171
  • D.A. Zatsepin, V.R. Galakhov, B.A. Gizhevskii, E.Z. Kurmaev, V.V. Fedorenko, A.A. Samokhvalov, S.V. Naumov. Phys. Rev. B 59, 211 (1999)
  • В.Н. Черняев. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. Радио и связь, М. (1987). 463 с
  • Д.И. Тетельбаум, А.И. Герасимов. ФТП 38, 1301 (2004)
  • Д.А. Зацепин, Е.С. Яненкова, Э.З. Курмаев, В.М. Черкашенко, С.Н. Шамин, С.О. Чолах. ФТТ 48, 204 (2006)
  • E.Z. Kurmaev, V.V. Fedorenko, S.N. Shamin, A.V. Postnikov, G. Wiech, Y. Kim. Phys. Scr. T 41, 288 (1992)
  • E.Z. Kurmaev, V.R. Galakhov, S.N. Shamin. Critical Rev. Sol. State Mater. Sci. 23, 65 (1998)
  • G. Kreese, J. Hafner. Phys. Rev. B 47, 558 (1993)
  • G. Kreese, J. Furthmuller. Comput. Mat. Sci. 6, 15 (1996)
  • G. Kreese, J. Furthmuller. Phys. Rev. B 54, 11 169 (1996)
  • D.M. Ceperley, B.L. Alder. Phys. Rev. Lett. 45, 566 (1980)
  • G. Kresse, J. Joubert. Phys. Rev. B 59, 1758 (1999)
  • P. Blaha, K. Schwarz, G.K.H. Madsen. WIEN2k. An Augmented plane wave plus local orbitals program for calculating crystal properties. Tech. Univ. Wien, Wien (2001)
  • А. Майзель, Г. Леонхард, Р. Сарган. Рентгеновские спектры и химическая связь. Наук. думка, Киев (1981) 419 с
  • M. Koster, H.M. Urbassek. Phys. Rev. B 62, 11 219 (2000)
  • S. Ihara, S. Itoh, J. Kitakami. Phys. Rev. B 58, 10 736 (1998)
  • S. Goedecker, T. Deutsch, L. Billard. Phys. Rev. Lett. 88, 235 501 (2002)
  • K. Nishihira, T. Motooka. Phys. Rev. B 66, 233 310 (2002)
  • M. Posselt, F. Gao, D. Zwicker. Phys. Rev. B 71, 245 202 (2005)
  • L.A. Marque's, L. Pelaz, J. Hernandez, J. Barbolla. Phys. Rev. B 64, 045 214 (2001)
  • I.H. Lee, K.J. Chang. Phys. Rev. B 50, 18 083 (1994)
  • J.P. Perdew, S. Burke, M. Ernzerhof. Phys. Rev. Lett. 77, 3865 (1996)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.