"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Механизм формирования пространственной структуры высокочастотного емкостного разряда
Яценко Н.А.
Выставление онлайн: 20 января 1988 г.

Исследуются физические процессы, определяющие наблюдаемую на опыте структуру слаботочной формы высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР), т. е. разряда, в котором влиянием ионизации на баланс заряженных частиц в приэлектродных областях пространственного заряда (ПСПЗ) можно пренебречь. Показано, что помимо уравнивания числа электронов и ионов, выпадающих на каждый электрод за период ВЧ поля в стационарном ВЧЕР, есть другая не менее важная функция ПСПЗ, заключающаяся в стабилизации плазменного столба ВЧЕР с падающей вольт-амперной характеристикой, что, собственно, и приводит к эффекту нормальной плотности тока в таком типе разряда, зависимости величины нормальной плотности тока jн от давления газа p и величины межэлектродного зазора d, ограничению области существования слаботочного ВЧЕР по p и d.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.