Издателям
Вышедшие номера
Рентгенодифракционные исследования кремния, имплантированного ионами эрбия с высокими энергиями
Кютт Р.Н.1, Соболев Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.

Кристаллы кремния после имплантации ионов эрбия с энергиями 0.8--2.0 MeV и дозами 1· 1012-1· 1014 cm-2 исследовались методами двух- и трехкристальной дифракции рентгеновских лучей. Наблюдалось образование трех типов двухкристальных кривых отражения. Они соответствуют различным структурным состояниям имплантированных слоев. При умеренных дозах (1· 1012-1· 1013 cm-2) наблюдается возникновение положительной деформации, обусловленной формированием вторичных радиационных дефектов межузельного типа. Увеличение дозы имплантации сопровождается формированием аморфного слоя, разделяющего объемный и тонкий приповерхностный монокристаллический слои. При дозе имплантации 1· 1014 cm-2 приповерхностный монокристаллический слой полностью аморфизируется. Определены параметры имплантировнных слоев. Обсуждается модель трансформации структурных нарушений.
  • Н.А. Соболев. ФТП 29, 7, 1153 (1995)
  • D.J. Eaglesham, J. Michel, E.A. Fitzgerald, D.C. Jacobson, J.M. Poate, J.L. Benton, A. Polman, Y.-H. Hie, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett. 58, 2797 (1991)
  • J.S. Custer, A. Polman, H.M. van Pinxteren. J. Appl. Phys. 75, 2809 (1994)
  • R.N. Kyutt, P.V. Petrashen, L.M. Sorokin. Phys. Stat. Sol. (a) 60, 381 (1980)
  • E.H. teKaat, G.H. Schwuttke. Advances in X-ray Analysis / Ed. L.F.J. Heinrich et al. Plenum Press, N.-Y. (1972). V. 15. 504 p
  • V.S. Speriosu, H.L. Glass, T. Kolayashi. Appl. Phys. Lett. 34, 539 (1979)
  • P. Zaumseil, U. Winter, F. Cembali, M. Servidori, Z. Sourek. Phys. Stat. Sol. (a) 100, 95 (1982)
  • P. Zaumseil, U. Winters. Phys. Stat. Sol. (a) 120, 67 (1990)
  • В.А. Бушуев, А.П. Петраков. Кристаллография 40, 11 (1995)
  • J.G.E. Klappe, P.E. Fewster. J. Appl. Cryst. 27, 103 (1994)
  • G. Bai, M.A. NiKolet. J. Appl. Phys. 70, 649 (1991)
  • A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy, J. Koczanowski, L. Nowicki. Appl Phys. Lett. 67, 1847 (1995)
  • О.В. Александров, Р.Н. Кютт, Т.Г. Алкснис. ФТТ 22, 10, 2892 (1980)
  • C.J. Tsai, A. Dommann, M.A. Nicolet, T. Vreeland, J. Appl. Phys. 69, 2067 (1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.