Издателям
Вышедшие номера
Численное моделирование методом MINDO/3 электронной структуры нитрида кремния
Гриценко В.А.1, Мороков Ю.Н.2, Новиков Ю.Н.1
1Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Институт вычислительных технологий Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 14 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.

Полуэмпирическим квантово-химическим методом MINDO/3 в кластерном приближении рассчитана электронная структура нитрида кремния. Проанализировано влияние размеров кластеров и граничных условий на парциальную плотность одноэлектронных состояний. Результаты расчета сопоставлены с экспериментальными данными для аморфного нитрида кремния. Обсуждается происхождение пика в верхней части валентной зоны, наблюдаемого в SiL2,3-спектре, но не воспроизводимого расчетами.
  • V.I. Belyi, L.L. Vasilyeva, V.A. Gritsenko et al. In: Material Science Monograph. Silicon Nitride in Electronics / Ed. A.V. Rzhanov. North Holland, Amsterdam (1988). V. 34. P. 555
  • В.А. Гриценко. Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП-структурах. Наука, Новосибирск (1993). 290 с
  • S. Fujita, S. Sasaki. J. Electrochem. Soc. 132, 398 (1985)
  • P.A. Pundur, Yu.G. Shavalgin, V.A. Gritsenko. Phys. Stat. Sol. (a) 94, K107 (1986)
  • P.M. Lenahan, D.T. Krick, J. Kanicki. Appl. Surf. Sci. 39, 392 (1989)
  • J. Robertson. Phil. Mag. B63, 47 (1991)
  • W.L. Warren, J. Kanicki, J. Robertson, E.H. Poindexter, P.J. McWhorter. J. Appl. Phys. 74, 6, 4034 (1993)
  • В.А. Гриценко, П.А. Пундур. ФТТ 28, 10, 3239 (1986)
  • В.А. Гриценко, Е.Е. Меерсон, И.В. Травков, Ю.В. Голтвянский. Микроэлектроника 16, 1, 42 (1987)
  • В.А. Гриценко, Ю.П. Костиков, Л.В. Храмова. ФТТ 34, 8, 2424 (1992)
  • R.J. Sokel. J. Phys. Chem. Sol. 41, 899 (1980)
  • J. Robertson. Phil. Mag. B44, 2, 215 (1981)
  • S.Y. Ren, W.Y. Ching. Phys. Rev. B23, 10, 5454 (1981)
  • А.Г. Петухов. ФТТ 27, 1, 95 (1985)
  • E.C. Ferreira, C.E.T. Goncalves da Silva. Phys. Rev. B32, 12, 8332 (1985)
  • L. Martin-Moreno, E. Martinez, J.A. Verges, F. Yndurain. Phys. Rev. B35, 18, 9683 (1987)
  • J. Robertson. J. Appl. Phys. 54, 8, 4490 (1983)
  • J. Robertson. Phil. Mag. B69, 2, 307 (1994)
  • Y. Xu, W.Y. Ching. Physica B150, 32 (1988)
  • E.P. Domashevskaya, Yu.K. Timoshenko, V.A. Terekhov et al. J. Non-Cryst. Sol. 114, 495 (1989)
  • R.C. Bingham, M.J.S. Dewar, D.H. Lo. J. Am. Chem. Soc. 97, 1285 (1975)
  • Молекулярные постоянные неорганических соединений. Справочник / Под ред. К.С. Краснова. Химия, Л. (1979). 446 с
  • В.А. Гриценко, Ю.П. Костиков. ФТТ
  • V.J. Nithianandam, S.E. Schnatterly. Phys. Rev. B36, 2, 1159 (1987)
  • E.A. Repnicova, V.A. Gurtov, Z.A. Panova. Phys. Stat. Sol. (a) 119, 113 (1990)
  • E. Wakita, F. Makimura, Y. Nakayama. J. Appl. Phys. 34, 1425 (1995)
  • A.H. Edwards, W.B. Fowler. J. Phys. Chem. Sol. 46, 7, 841 (1985)
  • В.А. Гриценко, Р.М. Иванов, Ю.Н. Мороков. ЖЭТФ 108, 6, 2216 (1995)
  • R.D. Carson, S.E. Schnatterly. Phys. Rev. 33, 4, 2432 (1986)
  • И.А. Брытов, В.А. Гриценко, Ю.П. Костиков. ФТТ 26, 6, 1685 (1984)
  • I.A. Brytov, E.A. Obolenskii, Yu.N. Romashenko, V.A. Gritsenko. J. de Phys. 45, C2-888 (1984)
  • И.А. Брытов, В.А. Гриценко, Ю.Н. Ромащенко. ЖЭТФ 89, 362 (1985)
  • J.R. Chelikowsky, M. Schluter. Phys. Rev. B15, 8, 4020 (1977)
  • R.N. Nucho, A. Madhukar. Phys. Rev. B21, 4, 1576 (1980)
  • D. Lohez, M. Lannoo. Phys. Rev. B27, 8, 5007 (1983)
  • R.P. Gupta. Phys. Rev. B32, 12, 8278 (1985)
  • R. Hezel. Rad. Eff. 65, 101 (1982)
  • В.А. Терехов, Н.М. Медведев, В.М. Андреещев. Поверхность, 91 (1985)
  • D.L. Griscom. J. Non-Cryst. Sol. 24, 155 (1977)
  • A.J. Bennett, L.M. Roth. Phys. Chem. Sol. 32, 1251 (1971)
  • A. Simunek, G. Weich. J. Non-Cryst. Sol. 137/138, 903 (1991)
  • I. Tanaka, J. Kawai, H. Adachi. Phys. Rev. B52, 16, 11 733 (1995)
  • J.J. Yeh, I. Lindau. Atom. Data Nucl. Data Tabl. 32, 1 (1985)
  • G.K. Wertheim. In: Electron and Ion Spectroscopy of Solids / Ed. L. Fiermans, J. Vennik and W. Dekeyser. Plenum Press, N. Y. (1978). P. 195
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.