Издателям
Вышедшие номера
Кинетика взаимодействия кремния с текстурированными танталовыми лентами
Агеев В.Н.1, Афанасьева Е.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 марта 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.

С помощью Оже-электронной спектроскопии изучена кинетика взаимодействия кремния с текстурированными танталовыми лентами с преимущественным выходом на поверхность грани (100). При температурах T<700 K кремний накапливается на поверхности. В области температур 900<T<1000 K после образования монослойного покрытия избыточный кремний участвует в послойном образовании силицида TaSi2. В области температур 1150<T<1320 K избыточный сверх монослоя кремний реагирует с танталом и по механизму послойного роста образует силицид Ta5Si3, который является неустойчивым и при T>1320 K разлагается с образованием силицида Ta4Si, при этом на поверхности остается только 1/3 от монослойного покрытия кремния. Энергия активации распада силицида Ta5Si3 составляет 4.3± 0.2 eV. Термодесорбция атомов Si при малых покрытиях происходит с энергией активации десорбции 5.4± 0.2 eV.
  • Ш. Мьюрарка. Силициды для СБИС. Мир, М. (1986). С.176
  • G. Rossi. Surf. Sci. Rep. 7, 101 (1987)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Поверхность, 7, 30 (1987)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, С.Н. Михайлов, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Поверхность, 5, 7 (1987)
  • В.Н. Агеев, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. Поверхность, 2, 47 (1988)
  • В.Н. Агеев, М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, С.В. Хоружий. Поверхность, 5, 57 (1988)
  • В.Н. Агеев, М.В. Гомоюнова, А.К. Григорьев, И.И. Пронин, А.Е. Роднянский. Поверхность, 8, 88 (1990)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, С.М. Соловьев, А.К. Григорьев. ФТТ 35, 2, 481 (1993)
  • Е.Ю. Афанасьева, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. ФТТ 37, 2, 463 (1995)
  • Д. Бриггс, М.П. Сих. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Мир, М. (1987). С. 209
  • N.R. Gall, E.V. Rut'kov, A.Ya. Tontegode, M.M. Usufov. Phys. Low Dim. Struct. 4/5, 75 (1996)
  • М. Робертс, У. Макки. Химия поверхности раздела металл--газ. Мир, М. (1981). С. 85
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Международная конференция "Эмиссионная электроника, новые методы и технология". Тезисы докладов. Ташкент (1997). В печати
  • Schlesinger. J Phase Equilibria 15, 1, 90 (1994)
  • Р.Н. Галль, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. ЖТФ 60, 4, 125 (1990)
  • G.J. Campisi, A.J. Belovo, H.R. Shanks, F.A. Schmidt. J. Appl. Phys. 53, 3, 1714 (1982)
  • T.A. Nguyan Tan, M. Azizan, J. Derrien. Surf. Sci. 189/190, 339 (1987)
  • А.И. Ефимов и др. Свойства неорганических соединений. Справочник. Химия, Л. (1983)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.