Издателям
Вышедшие номера
Диффузионные параметры азота в ионно-имплантированных монокристаллах вольфрама
Боднарь О.Б.1, Аристова И.М.2, Мазилкин А.А.2, Пронина Л.Н.2, Чайка А.Н.2, Попов П.Ю.1
1Московская государственная академия приборостроения и информатики, Москва, Россия
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
Email: aristova@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 4 марта 2005 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2005 г.

Исследована диффузия азота, имплантированного в монокристаллический вольфрам в температурном интервале 700-820oC. В основу измерений положен разработанный авторами метод неразрушающего определения коэффициентов диффузии по динамике изменения поверхностной концентрации примеси. Начальное распределение и диффузионные профили для различных времен отжига определялись методом масс-спектроскопии вторичных ионов. Измерение относительной поверхностной концентрации азота проводилось методом Оже-электронной спектроскопии. Экспериментально обнаружено существование нескольких потоков примесных атомов в приповерхностной области ионно-легированного вольфрама. В предположении взаимодействующих потоков определены температурные зависимости коэффициентов диффузии азота в потоке, связанном с дислокациями, образовавшимися в результате ионной имплантации, и в потоке, связанном с объемным механизмом диффузии. Диффузия азота характеризуется довольно низкой величиной энергии активации: 0.15 и 0.75 eV по дислокационному и объемному механизмам соответственно. Один из авторов (А.Н.Ч.) благодарит за финансовую поддержку Фонд содействия отечественной науке и программу научных школ (грант НШ-2169.2003.2). PACS: 61.72.Ww, 66.30.Jt
  • О.Б. Боднарь. Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле. Машиностроение-1, М. (2004). 88 с
  • А.Д. Полянин, А.В. Вязьмин. Справочник по точным решениям уравнений тепло- и массопереноса. Факториал, М. (1998). 29 с
  • J. Keinonen, J. Raisanen, A. Anttila. Appl. A 35, 227 (1984)
  • T.C. Reuther, M.R. Achter. Metall. Trans. 1, 1777 (1970)
  • J. Gyulai. In: Handbook of Ion Implantation and Technology / Ed. J.F. Ziegler. Elsevier Science Publ. (1992). P. 69
  • H. Jehn, E. Fromm. J. Less Common Met. 21, 333 (1970)
  • M.W. Guinan, R.N. Stuart, R.J. Borg. Phys. Rev. B 15, 2, 699 (1977)
  • D.H. Tsai. R. Bullough, R.C. Perrin. J. Phys. C: Solid State Phys. 3, 2022 (1970)
  • Б.С. Бокштейн, С.З. Бокштейн, А.А. Жуховицкий. Термодинамика и кинетика диффузии в твердых телах. Металлургия, М. (1974). 280 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.