Приведены результаты электронно-микроскопического и рентгеноструктурного изучения наноструктурных пленок на основе борида титана, полученных магнетронным распылением при различных режимах. Состав и формулы синтезированных фаз оценивались с помощью Оже-анализа. Исследованы твердость, упругие и электрические свойства пленок. Обсуждается роль размерных эффектов и отклонения от стехиометрии (структурных вакансий).
R.J. Siegel. Phys. Chem. Sol. 55, 10, 1097 (1994)
H. Gleiter. Nanostruct. Mater. 6, 1-4, 3 (1995)
C. Suryanarayana. Int. Mater. Rev. 40, 2, 41 (1995)
Р.А. Андриевский. Успехи химии 66, 1, 57 (1997)
Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер, Р.А. Андриевский, Б. Гюнтер. ФТТ 36, 1, 216 (1994).
R.A. Andrievski, V.S. Urbanovich, N.P. Kobelev, V.M. Kuchinski. In: Fourth Euro Ceramics / Ed. A. Bellosi. Gruppo Edit. Faeza, Italy (1995). V. 4. P. 307.
Р.А. Андриевский. Успехи химии 64, 4, 311 (1995)
C. Mitterer, M. Rauter, P. Rodhammer. Surf. Coat. Technol. 41, 4, 351 (1990)
W. Herr, B. Matthes, E. Broszeit, K.H. Kloos. Mater. Sci. Eng. A140, 4, 660 (1991)
O. Knotek, F.J. Loffler. Hard Mater. 3, 1, 29 (1992)
P. Hammer, A. Steiner, R. Villa, M. Baker, P.N. Gibson, J. Haupt, W. Gissler. Surf. Coat. Technol. 68--69, 4, 194 (1994)
Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, А.Ф. Потафеев, М.А. Пономарев, С.Ю. Шаривкер. Неорган. материалы 31, 12, 1536 (1995)
А.С. Аронин, В.А. Кислов, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер. ФТТ 33, 4, 1001 (1991)
J. Chen, J.A. Barnard. Mater. Sci. Eng. A191, 4, 233 (1995)
J.L. Murray, P.K. Liao, K.E. Spear. Bull. Alloy Phase Diagr. 7, 6, 550 (1986)
W.J. Lengauer. All. Comp. 186, 4, 293 (1992)
H. Tsuda, Y. Numasawa. Jap. J. Appl. Phys. 34, 6A, L691 (1995)
В.Д. Чупов, В.И. Унрод, С.С. Орданьян. Порошковая металлургия, 1, 62 (1981)
Р.А. Андриевский, И.И. Спивак. Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе. Металлургия, Челябинск (1989). 367 с
М.И. Айвазов, И.А. Домашнев. Неорган. материалы 7, 10, 1735 (1971)
M. Tamura, H. Kubo. Surf. Coat. Technol. 54/55, 4, 255 (1992)
Q.Q. Yang, L.S. Wen, Chen, Y.Q. Zheng, Y.Z. Zhuang. Vacuum 46, 2, 181 (1995)
Д.В. Штанскиий, Е.А. Левашов, В.И. Косянин, Н.Б. Дьяконова, И.В. Лясоцкий. ФММ 80, 1, 120 (1995)
Р.А. Андриевский, Я.С. Уманский. Фазы внедрения. Наука, М. (1977). 239 с
R.R. Manory, G. Kimmel. Thin Solid Films 150, 2, 277 (1987)
К.И. Портной, А.А. Мукасеев, В.Н. Грибков, Ю.В. Левинский. Порошковая металлургия, 5, 87 (1968)
B.O. Johansson, J.-E. Sundgren, J.E. Greene, A. Rocekett, S.A. Barnett. J. Vac. Sci. Technol. A3, 2, 303 (1985)
А.М. Прохоров, Н.П. Лякишев, Г.С. Бурханов, В.А. Дементьев. Неорган. материалы 32, 11 (1996)
B. Jonsson, S. Hogmark. Thin Solid Films 114, 2, 257 (1984)
S.R. Philipot, D. Wolf, H. Gleiter. J. Appl. Phys. 78, 2, 847 (1995)
А.М. Глезер, Б.В. Молотилов. Структура и механические свойства аморфных сплавов. Металлургия, М. (1992). 208 с
J.G. Ryan, S. Roberts, G.J. Slusser, D. Adams. Thin Solid Films 153, 2, 329 (1987)
Y.K. Huang, A.A. Menovsky, F.R. de Boer. Nanostruct. Mater. 5, 6, 505 (1993)