Исследована зависимость от энергии первичных электронов формы ультрамягких рентгеновских SiL2,3- и AuN6,7-эмиссионных полос в структурах Au/Si, взаимодействующих с кислородом воздуха. Использовалась методика количественной оценки фазового химического состава и его распределения по глубине, основанная на анализе формы полос и использующая самую общую интегральную форму зависимости интенсивности рентгеновских спектров от энергии первичных электронов. Обнаружено, что процесс окисления вызывает диффузию атомов кремния к поверхности и приводит к кардинальному изменению фазового состава исследованных структур. Характерной особенностью строения всех образцов становится появление на их поверхности относительно толстого слоя SiO2, толщина которого зависит от начального фазового состава интерфейса Au/Si.
L. Braicovich, C.M. Garner, P.R. Skeath, C.Y. Su, P.W. Chye, I. Lindau, W.E. Spicer. Phys. Rev. B20, 5131 (1979)
L. Braicovich, I. Abbati, J.N. Miller, I. Linday, S. Schwarz, P.R. Skeath, C.Y. Su, W.E. Spicer. J. Vac. Sci. Technol. 17, 1005 (1980)
O. Bisi, C. Calandra, L. Braicovich, Iabbati, G. Rossi, I. Lindau, W.E. Spicer. J. Phys. C. Sol. Stat. Phys. 15, 4707 (1982)
K. Hricovini, J.E. Bonnet, B. Carriere, J.P. Deville, M. Hanbuecken, G. Le Lay. Surf. Sci. 211/212, 630 (1989)
J.-J. Yeh, J. Hwang, R. Cao, K.A. Berness, I. Lindau. J. Vac. Sci. Technol. A6, 1557 (1988)
M. Twami, M. Kabota, T. Kogama, H. Tochihara, Y. Murata. Phys. Rev. B38, 1047 (1988)
J. Derrien, G. Le Lay, F. Salwau. Phys. Rev. Lett. 39, L287 (1978).
В.К. Адамчук, И.В. Любинецкий, А.М. Шикин. Письма в ЖТФ 12, 1056 (1986)
M. Hanbuecken, G. Le Lay. Surf. Sci. 168, 122 (1986)
S.L. Molodtsov, C. Laubschat, G. Kaindl, A.M. Shikin, V.K. Adamchuk. Phys. Rev. B44, 8850 (1991)
J.-J. Yeh, J. Hwang, K. Bertness, D.J. Friedman, R. Cao, I. Linday. Phys. Rev. Lett. 70, 3768 (1993)
A. Hiraki, M.A. Nicolet, J.W. Mayer. Appl. Phys. Lett. 18, 178 (1970)
A. Hiraki. Surf. Sci. Rep. 3, 357 (1984)
L.C. Feldman, J.W. Mayer. Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis. North Holland, N.Y.--Amsterdam--London (1986). 350 p
A.S. Shulakov. Cryst. Res. Technol. 23, 835 (1988)
А.С. Шулаков, А.П. Степанов. Поверхность. Физика, химия, механика, 1, 146 (1988)
А.П. Лукирский, В.А. Фомичев, А.В. Руднев. В сб.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л. (1970). В. 9. С. 89
В.И. Алавердов, А.П. Степанов, А.С. Шулаков. ПТЭ, 2, 102 (1992)
И.А. Брытов, Ю.А. Ромашенко. ФТТ 20, 3, 664 (1978)
С. Рид. Электронно-зондовый микроанализ / Пер. с англ. под ред. А.И. Козленкова. Мир, М. (1979). 410 с
В.И. Лебедь, В.П. Афонин. В сб.: Рентгеновская и электронная спектроскопия. Изд-во АН СССР, Черноголовка (1985). С. 51--62
А.С. Виноградов, Е.О. Филатова, Т.М. Зимкина. ФТТ 25, 4, 1120 (1983)
R. Hensel, K. Radler, B. Sonntag, C. Kunz. Solid State Commun. 7, 1495 (1969)
И.М. Бронштейн, Б.С. Фрайман. Вторичная электронная эмиссия. Наука, М. (1969). 407 с
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук