С помощью экспериментов по инжекции неосновных носителей из кремния n- и p-типов определен вклад электронов и дырок в проводимость TiO2 в структуре Si/TiO2/Al. Установлено, что в проводимость TiO2 вносят вклад электроны и дырки: проводимость TiO2 является двухзонной. Работа выполнена в рамках интеграционного проекта N 116 CO PAH. PACS: 71.20.Nr, 72.20.-i
A.I. Kingon, J.-P. Maria, S.K. Streiffor. Nature 406, 1032 (2000)
G.D. Wilk, R.M. Wallace, J.M. Anthony. J. Appl. Phys. 89, 5243 (2001)
V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov, Yu.N. Novikov, A.L. Aseev, S.Y. Yoon, J.-W. Lee, E.-H. Lee, C.W. Kim. Solid-State Electron. 47, 10, 1651 (2003)
S.-D. Mo, W.Y. Ching. Phys. Rev. B 51, 13 023 (1995)
V. Mikhelashvili, G. Eisenstein. J. Appl. Phys. 89, 3256 (2001)
S.A. Campbell, D.C. Kim. IBM J. Research Development 43, 383 (1999)
Bryce S. Richards, S. Raymond Richards, Matthew B. Boreland, David N. Jamieson. J. Vac. Sci. Technol. A 22, 2, 339 (2004)
Gang He, Qi Fang, Liqiang Zhu, Mao Liu, Lide Zhang, Chem. Phys. Lett. 395, 259 (2004)
S.A. Campbell, D.C. Gilmer, X.-C. Wang, M.-T. Hsieh, H.-S. Kim, W.L. Glasdfelter, J. Yan. IEEE Trans. Electron Dev. 44, 104 (1997)
J.W. Halley, M.T. Michalewicz, N. Ti. Phys. Rev. B 41, 10 165 (1990)
F. Montoncello, M.C. Carotta, B. Cavicchi, M. Ferroni, A. Giberti, V. Guidi, C. Malagu, G. Martinelli, F. Meinardi. J. Appl. Phys. 94, 1501 (2003)
G.K. Dalapati, S. Chatterjee, S.K. Samantu, S.K. Nandu, P.K. Bose, S. Varma, S. Patil, C.K. Maiti. Solid-State Electron. 47, 1793 (2003)
K.A. Nasyrov, V.A. Gritsenko, Yu.N. Novikov, E.-H. Lee, S.Y. Yoon, C.W. Kim. J. Appl. Phys. 96, 4293 (2004)
V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, Yu.N. Morokov. Phys. Rev. B 57, R 2081 (1997)
A.S. Ginovker, V.A. Gritsenko, S.P. Sinitsa. Phys. Stat. Sol. (b) 26, 489 (1974)
К.А. Насыров, Ю.Н. Новиков, В.А. Гриценко, С.Ю. Юн, Ч.В. Ким. Письма в ЖЭТФ 77, 455 (2003)