"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Механизм ионизации в жидкометаллическом ионном источнике. Источник для тугоплавких металлов
Сихарулидзе Г.Г.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская область, Россия
Поступила в редакцию: 23 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1997 г.

Проведены исследования механизма ионизации в жидкометаллическом ионном источнике (ЖМИИ). На поверхности жидкометаллического эмиттера, замороженного в поле высокого напряжения в момент генерации ионного тока, обнаружены микроострия, вытянутые из жидкого металла электрическим полем. В ионном пучке, вытягиваемом из отверстия в экстракторе, с помощью масс-спектрометра с двойной фокусировкой выделены две составляющие. Одна часть ионов образуется у вершины эмиттера и имеет энергетический разброс, не превышающий несколько десятков электрон-вольт. Другая часть ионов образуется в катодной плазме на экстракторе. На основе проведенных исследований предлагается механизм ионообразования в ЖМИИ. На базе предложенного механизма изменена конструкция ЖМИИ. Источник позволяет получать ионные пучки из тугоплавких металлов и неметаллов. Получены пучки ионов Ta, W, Mo, C, Fe.
  • Slingerland H.N., Barth J.E., Koets E. et al. // Microcircuit. Eng. Int. conf. Berlin, 1984. P. 25
  • Gomer R. // Appl. Phys. 1970. Vol. 4. N 4. P. 365
  • Asai T., Ito S., Eto T. et al. // Jap. Appl. Phys. 1980. Vol. 50. N 8. P. 818
  • Benassayag G., Sudraud P., Jouffrey B. // Ultramicroscopy. 1985. N 16. P. 1
  • Габович М.Д. // УФН. Т. 140. N 5. С. 137
  • Kingham D.R., Swanson L.W. // Vacuum. 1984. Vol. 34. N 10/11. P. 941
  • Bell A.E., Swanson L.W. // Nucl. Instrum. and Meth. 1985. B. 10--11. Pt. 2. P. 783
  • Kingham D.R., Swanson L.W. // Appl. Phys. 1984. A. 34. P. 123
  • Kingham D.R., Swanson L.W. // Appl. Phys. 1986. A. 41. P. 157
  • Bell A.E., Swanson L.W. // Appl. Phys. 1986. A. 41. P. 335
  • Rudenauer F.G., Steiger W., Wieser E., Grotzschel R. // Vacuum. 1985. Vol. 35. N 8. P. 315
  • Cruz C., Pouerrarei K., Wagner A. // J. Appl. Phys. 1985. Vol. 58. N 7. P. 2724
  • Sikharulidze G.G. // Int. J. Mass Spectrom. and Ion Proc. 1990. Vol. 96. P. 199
  • Latham R.V. High voltage vacuum isolation. London: Academic Press, 1981. 192 p
  • Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972. 404 с
  • Бурмий Ж.П., Сихарулидзе Г.Г. // Высокочистые вещества. 1984. N 2. 180 с
  • Sudraud P., Colliex C., Van de Walle J. // J. de Phys. Lett. 1979. Vol. 40. N 5. P. 207
  • Thompson S.P., Prewett P.D. // J. Phys. D. 1984. Vol. 17. N 11. P. 2305
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.