"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование двумерной периодической структуры локальных областей плавления на поверхности кремния при импульсном световом облучении
Фаттахов Я.В.1, Галяутдинов М.Ф.1, Львова Т.Н.1, Хайбуллин И.Б.1
1Казанский физико-технический институт РАН, Казань, Россия
Поступила в редакцию: 19 мая 1997 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1997 г.

Приведены первые результаты формирования двумерной периодической структуры локальных областей плавления на поверхности кремния при импульсном световом облучении. Установлены условия и обсуждается механизм образования таких структур.
  • Емельянов В.И., Коротеев Р.И., Яковлев В.В. // Опт. и спектр. 1987. Т. 62. Вып. 5. С. 1188--1190
  • Вейко В.П., Имас Я.А., Либенсон М.Н. и др. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1985. Т. 49. N 6. С. 1236--1239
  • Heinig K.-H. // Proc. I Intern. Conf. on Energy Pulse Modification of Semiconductors and Related Materials. Pt 1. Dresden: Zentralinstitut fur Kernforshung, 1985. P. 265--279
  • Celler G.K., Robinson M.D., Trimble L.E., Lishner D.J. // Appl. Phys. Lett. 1983. Vol. 43. N 9. P. 868--870
  • Usenko A.Y. // J. Materials Sci. 1993. Vol. 4. P. 89--92
  • Фаттахов Я.В., Хайбуллин И.Б., Баязитов Р.М. и др. // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. Вып. 16. С. 1474--1478
  • Фаттахов Я.В., Васильева Т.Н., Хайбуллин И.Б. // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 2. С. 47--53
  • Correra L., Pedulli L. // Rad. Eff. 1982. Vol. 63. N 1--4. P. 187--190
  • Поут М., Фоти Г., Джекобсон Д.К. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками. М.: Машиностроение, 1987. 424 с
  • Авакянц Л.П., Ивлев Г.Д., Образцова Е.Д. // ФТТ. 1992. Т. 34. Вып. 11. С. 3334--3337
  • Meyer J.R., Kruer M.R., Bartoli F.J. // J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51. N 10. P. 5513--5522
  • Tsu R., Paeslen M.A., Sayers D. // J. Non-Cryst. Solids. 1989. Vol. 114. N 1. P. 199--201
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.