Зависимость параметров эмпирической модели поверхностного сопротивления пленки высокотемпературного сверхпроводника от параметров технологического процесса
Вендик И.Б.1, Гольман Е.К.1, Разумов С.В.1, Свищев А.А.1, Тумаркин А.В.1
1С.-Петербургский государственный электротехнический университет
Поступила в редакцию: 4 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.
Для оптимизации режима получения YBCO пленок исследовалась зависимость поверхностного сопротивления от температуры нагревателя подложки. Показана высокая чувствительность величины RSUR к точности поддержания температуры держателя подложки для обеспечения минимального значения поверхностного сопротивления пленок и максимального значения параметра gamma, определяющего температурные зависимости sigma(t) и lambdaL(t).
- Vendik O., Kollberg E. // Microwaves and RF. 1993. N 6. P. 118--121
- Вендик О.Г., Попов А.Ю., Зубко С.П. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. В. 15. С. 6--10
- Vendik I.B., Gevorgian S.S., Kaparkov D.I. et al. // Proc. of 25th EuMC. Bologna: Nexus Media Ltd. 1995. V. 2. P. 1205--1208
- Taber R.C. // Rev. Sci. Instrum. 1990. P. 61--66
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук