Вышедшие номера
Влияние отжига на диэлектрическую проницаемость пленочного титаната стронция в структуре SrTiO3 / Al2O3
Прудан А.М.1, Гольман Е.К.1, Козырев А.Б.1, Козлов А.А.1, Логинов В.Е.1, Земцов А.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.

Проведены экспериментальные исследования структуры пленки титаната стронция на сапфировой подложке и диэлектрических свойств конденсаторов на основе многослойной системы SrTiO3 / Pt / Al2O3 до и после высокотемпературного отжига. Исследованы макро- и микроструктура пленок SrTiO3 и ее изменение в результате отжига. Определены температурные и полевые зависимости диэлектрической проницаемости пленочного титаната стронция и проведено их сопоставление с аналогичными данными для монокристалла. Обсуждаются механизмы влияния отжига на емкость конденсаторов и на свойства пленок SrTiO3.
  1. Ю.Я. Томашпольский, М.А. Севостьянов, Г.Е. Ратников, А.Ф. Федотов. Кристаллография 20, 1, 194 (1975)
  2. Б.М. Гольцман, Н.В. Зайцева, Ю.Л. Крецер, В.В. Леманов, Т.А. Шаплыгина. ФТТ 37, 12, 3723 (1995)
  3. В.М. Мухортов, Я.С. Никитин, М.Г. Радченко, В.А. Алешин, Ю.И. Головко, В.П. Дудкевич. ЖТФ 56, 7, 1372 (1986)
  4. R. Kalyanaraman, R.D. Vispute, S. Oktyabrsky, K. Dovidenko, K. Jagannadham, J. Narayan, J.D. Budal, N. Parikh, A. Sivkhanov. Appl. Phys. Lett. 71, 12, 1709 (1997)
  5. E. Chen, S.Y. Chou. IEEE Transactions on microwave theory and techniquess 45, 6, 939 (1997)
  6. А.М. Прудан, Е.К. Гольман, А.Б. Козырев, Р.Н. Кютт, В.Е. Логинов. ФТТ 39, 6 1024 (1997)
  7. K. Bethe. Philips Res. Rep., 2, 1 (1970)
  8. E. Hegenbarth, C. Frenzel. Cryogenics 7, 6, 331 (1967)
  9. Г.В. Белокопытов. ФТТ 37, 7, 1953 (1995)
  10. S. Komatsu, A. Kazuhide. Jpn. J. Appl. Phys. 34, 3597 (1995)
  11. Ю.А. Бойков, И.П. Пронин, З.Г. Иванов, Т. Клаесон. ФТТ 38, 4, 1100 (1996)
  12. T. Hirano, M. Taga, T. Kobayashi. Jpn. J. Appl. Phys. 32, L 1760 (1993)
  13. F.A. Miranda, C.H. Mueller, G.A. Koepf. Supercond. Sci. Technol. 8, 755 (1995)
  14. О.Г. Вендик, С.П. Зубок, Л.Т. Тер-Мартиросян. ФТТ 38, 12, 3654 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.