Издателям
Вышедшие номера
Эффективность генерации рентгеновского Si L2,3 излучения электронным ударом в системе SiO2/Si
Шулаков А.С.1, Брайко А.П.1, Мороз Н.В.1, Фомичев В.А.1
1Институт физики Санкт-Петербургского государственного университета, Петродворец, Россия
Email: alex@ns1333.spb.edu
Поступила в редакцию: 23 марта 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.

Предпринята попытка исследования распределения по глубине эффективности возбуждения и выхода ультрамягкого рентгеновского L2,3 излучения кремния, возбуждаемого электронами различных энергий. Функция генерации, описывающая эффективность возбуждения, является ядром интегрального уравнения, определяющего зависимость интенсивности рентгеновского излучения от энергии первичных электронов. С целью определения вида этой функции исследована зависимость от энергии первичных электронов интенсивности Si L2,3 рентгеновского эмиссионного спектра и составляющих его L2,3 полос кремния в кристаллическом кремнии и в аморфном диоксиде SiO2 в системе образцов, представляющих собой слои диоксида разной толщины, выращенные на поверхности кристаллического кремния. Такая постановка эксперимента позволила исследовать сечения функции генерации на глубине, соответствующей глубине залегания интерфейса Si--SiO2. Для теоретического моделирования вида функции генерации использовались простейшие законы взаимодействия электронов с твердыми телами и наиболее общий вид сечения ионизации внутреннего уровня электронным ударом. Сопоставление экспериментально полученных относительных вкладов излучения Si и SiO2 с рассчитанными показало хорошее соответствие вплоть до энергии первичных электронов 2-3 keV.
  • A.S. Shulakov. Cryst. Res. Technol. 23, 6, 835 (1988)
  • А.С. Шулаков, А.П. Степанов, А.П. Брайко. ФТТ 35, 8, 2135 (1993)
  • А.С. Шулаков, А.П. Брайко. ФТТ 39, 11, 2101 (1997)
  • А.С. Виноградов, Е.О. Филатова, Т.М. Зимкина. ФТТ 25, 4, 1120 (1983)
  • А.С. Шулаков, А.П. Степанов. Поверхность. Физика, химия, механика, 1, 146 (1988)
  • И.Б. Боровский, В.И. Рыдник. Изв. АН СССР. Сер. физ. 31, 6, 1009 (1967)
  • А.Ф. Махов. ФТТ 2, 7, 2161 (1960)
  • G. Dupuoy, F. Perrier, G. Verdier, F. Annal. Comput. Rend., 258, 3655 (1964)
  • G. Dupuoy, F. Perrier, G. Verdier, F. Annal. Comput. Rend., 260, 6055 (1965)
  • И.М. Бронштейн, Б.С. Фрайман. Вторичная электронная эмиссия. Наука, М. (1969). 407 с
  • M. Gryzinsky. Phys. Rev. A138, 2, 336 (1965)
  • В.И. Нефедов. Рентгеноэлектронная спектроскопия химических соединений. Химия, М. (1984). 255 с
  • A.S. Shulakov, A.V. Fedorov, G. Kaindl. 17th Int. Conf. X-Ray and Inner-Shell Processes. X-96. Hamburg (sept. 9--13, 1996). Abstracts. P. 80
  • A.S. Shulakov, A. Szazs, H. Mueller, H. Kirshmar. Phys. Stat. Sol. (a) 133, 555 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.