Издателям
Вышедшие номера
Исследование структуры пленок термического окисла на кремнии методом катодолюминесценции
Заморянская М.В.1, Соколов В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.

Проведено исследование катодолюминесцентных свойств термического окисла кремния, выращенного на кремнии. Установлено, что катодолюминесцентные свойства термических пленок не однородны по глубине, зависят от способа выращивания пленок и от характеристик кремниевой подложки.
  • V.I. Sokolov, N.A. Fedorovich. Phys. Stat. Sol. (a) 99, 151 (1987)
  • F. Maurice, L. Meny, R. Tixier. Microanalysis and Scanning Electron Microscopy. Les Editions de Physique (1978). P. 527
  • М.В. Заморянская, И.А. Вайншенкер, А.Н. Заморянский. ПТЭ 4, 192 (1987)
  • А.Р. Силинь, А.Н. Трухин. Точечные дефекты и элементарные возбуждения в кристаллическом и стеклообразном SiO-=SUB=-2-=/SUB=-. Зинатне, Рига. (1985). 243 с
  • А.Н. Трухин, А.Э. Плаудис. ФТТ 21, 4, 1109 (1979)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.