"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Моделирование некоторых гетерогенных процессов полупроводниковой технологии
Зон Б.А.1, Ледовский С.Б.1, Лихолет А.Н.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 9 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1998 г.

Поставлены и решаются две задачи: диффузия в двухфазной системе с движущейся границей раздела и учет конечной скорости реакции при образовании новой фазы. Для нахождения численных решений использован вариационный метод, что имеет ряд преимуществ для практики.
  • Fundamentals of Silicon Integrated Device Technology. Vol. 1. Oxidation, Diffusion and Epitaxy / Ed. R.M. Burger, R.P. Donovan. New Jersey: Prentice Hall, 1967. (Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера, Р. Донована. М.: Мир, 1969)
  • Thin films --- interdiffusion and reactions / Ed. J.M. Poate, K.N. Tu, J.M. Mayer. New Jersey, 1978. (Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. М.: Мир, 1982)
  • Murarka S.P. Silicides for VLSI Applications. Academic Press, New York: 1983. (Пер. Ш. Мюрарка. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986)
  • Маслов В.П., Данилов В.Г., Волосов К.А. Математическое моделирование процессов тепломассопереноса. М.: Наука, 1987
  • Muller R.S., Kamins T.I. Devise Electronics for Integrated Circuits. John Wiey \& Sons, New Jork, 1986. (Маллер Р., Кейминс Т. Элементы интегральных схем. М.: Мир.: 1989)
  • Гершинский А.Е., Ржанов А.В., Черепов Б.И. // Поверхность. Физика, Химия, Механика. 1982. N 2. С. 1
  • Васильев С.В., Герасименко Н.Н. // Поверхность. Физика, Химия, Механика. 1986. N 7. С. 57
  • Лобов Б.Я. Теория кристаллизации в больших объемах. М.: Наука, 1975
  • Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики. 4-е изд. М.: Наука, 1972
  • Gas P., Scilla G., Michel A. et al. // Appl. Phys. 1988. Vol. 63. N 11. P. 5335
  • Writtmer M., Ting C.Y., Tu K.N. // Thin. Sol. Films. 1983. Vol. 104. P. 191
  • Wei C.J., Katz W., Smitz C. // Thin. Sol. Films. 1983. Vol. 104. P. 215
  • Writmer M., Seidel T.E. // Appl. Phys. 1988. Vol. 49. N 12. P. 5827
  • Ohdomari I., Tu K.N., Sugaro K. et al. // Appl. Phys. Lett. 1981. Vol. 38. N 12. P. 1015
  • Thornton P.L. // Electron Lett. 1981. Vol. 17. N 14. P. 480
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.