Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 1998, выпуск 7 » Статья стр. 24
<<<>>>
Магнетронное напыление при повышенных давлениях: процессы в газовой среде
Знаменский А.Г.1, Марченко В.А.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 28 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.
PDF версия
Термализация эмиттированных мишенью энергичных атомов при давлениях до 100 Pa приводит к нагреву и движению газовой среды. В зависимости от параметров магнетронного разряда измерены температура и скорость движения газа. Представлены зависимости скорости осаждения, профиля толщины и структуры пленок от давления и мощности разряда. Показано, что они хорошо описываются простой диффузионной моделью транспорта термализованных атомов мишени, учитывающей движение и нагрев газовой среды.
  1. Somekh R.E. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1984. Vol. 2. N 3. P. 1285--1291
  2. Harper J.M., Cuomo J.J., Gambino R.J. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1978. Vol. 15. N 4. P. 1597--1600
  3. Eom C.T., Phillips J.M., Cava R.J. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1994. Vol. 341. P. 229
  4. Schurig Th., Menkel S., Quan Z. et al. // Physica C. 1996. Vol. 262. N 1. P. 89--97
  5. Myers A.M., Doyle J.R., Abelson J.R. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1991. Vol. 9. N 3. P. 614--618
  6. Chudnovskii F.A., Elkin B.Sh., Fursenko A.A. et al. // Proc. 3d German-Soviet Bilaterial Seminar on High-Temperature Superconductivity. Karlsruhe, 1990. P. 451--457
  7. Valles-Abarca J.A., Gras-Marti A. // J. Appl. Phys. 1984. Vol. 55. N 5. P. 1370--1378
  8. Жиглинский А.Г., Измайлов А.М., Кучинский В.В. и др. Изв. вузов. Физика. 1982. Т. 25. N 10. С. 869--873
  9. Жиглинский А.Г., Кучинский В.В. Массоперенос при взаимодействии плазмы с поверхностью. М.: Энергоиздат, 1991. 206 с
  10. Petrov I., Ivanov I., Orlinov V. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1993. Vol. 11. N 5. P. 2733--2741
  11. Rossnagel S.M. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. Vol. 6. N 1. P. 19--24
  12. Rossnagel S.M. // IEEE Trans. on Plasma Sci. 1990. Vol. 18. N 6. P. 878--882
  13. Hoffman D.W. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1985. Vol. 3. N 3. P. 561--566
  14. Морозов И.Д., Трусов Л.И., Лаповок В.Н. Физические явления в ультрадисперсных средах. М.: Энергоиздат, 1984. 372 с
  15. Ландау Л.Д., Лившиц Е.М. Гидродинамика. М.: Наука, 1988. 736 с
  16. Von Dr. Herman Schlichting. Gzenzschicht-Theorie. Karlsruhe: Verlag G. Braun. (пер. Шлихтинг Г. Теория пограничного слоя. М.: Наука, 1974. 480 с.)
  17. Westwood W.D. // J. Vac. Sci. Technol. 1978. Vol. 15. N 1. P. 1--9
  18. Robinson R.S. // J. Vac. Sci. Technol. 1979. Vol. 16. N 2. P. 185--188
  19. Brizzolara R.A., Cooper C.B., Olson T.K. // Nucl. Instr. and Meth. 1988. Vol. B35. P. 36--42
  20. Okabe Y., Sasao M., Wada M. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 30. N 8A. P. L1428--L1431
  21. Sakuta K., Sakaguchi Y., Awaji T. et al. // IEICE Trans. 1991. Vol. E74. N 7. P. 1960--1966
  22. Sputtering by Particle Bombardment I. / Ed. R. Behrish. Appl. Phys. Vol. 47. Berlin: Springer, 1981. (пер. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984)
  23. Кондратьев В.Н., Никитин Б.Е. Кинетика и механизм газофазных реакций. М.: Наука, 1974. 558 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme