"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Механизмы и кинетика начальных стадий роста пленок, выращиваемых методом химического газофазного осаждения
Григорьев Д.А.1, Кукушкин С.А.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

Исследуются начальные стадии роста пленок и покрытий методом химического газофазного осаждения. Получена система уравнений, описывающая процесс эволюции островковой пленки на стадии оствальдовского созревания в условиях, характерных для процесса газофазного осаждения. Решение данной системы позволило получить зависимости всех основных характеристик островковой пленки (функцию распределения островков по размерам, зависимости среднего радиуса и плотности островков) как функции времени и пространственной координаты. Даны рекомендации по получению пленок с заранее заданными свойствами.
  • Кукушкин С.А., Слезов В.В. Дисперсные системы на поверхности твердых тел (эволюционный подход): Механизмы образования тонких пленок. СПб.: Наука, 1996. 312 с
  • Разуваев Г.А., Грибов Б.Г. и др. Металлорганические соединения в микроэлектронике. М.: Наука, 1972. 479 с
  • Воробьев А.Н., Гарибин Е.А. и др. // Высокочистые вещества. 1996. N 3. С. 41--52
  • Garibin E.A., Mironov I.A., Khorushnikov S.E., Vorob'ev A.N. // Materials Science \& Engineering. B. 1996. Vol. 39. P. 8--14
  • Жидков А.Б., Кукушкин С.А., Смирнов Е.П., Денисова А.Т. // Поверхность. 1990. N 4. С. 71--76
  • Kukushkin S.A., Osipov A.V. // Progress in Surf. Sci. 1996. Vol. 51. N 1. P. 1--107
  • Кукушкин С.А. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 6. С. 1582--1596
  • Кукушкин С.А. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 6. С. 1597--1608
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.